チュートリアル
ISSM日本開催では今年初めての試みです。 若手エンジニアをターゲットにした技術的なテーマのセッションとして「AEC/APC」、 中堅または管理者層をターゲットにした、横断的な運営に関わるテーマのセッションと として「ESH」を用意しました。
Tutorial Session 開催概要
開催時期：2008年10月27日（月） 9:30～12:00
開催場所：ハイアットリージェンシー東京（新宿）
AEC/APC(Advanced Equipment Control/Advanced Process Control)チュートリアル セッション (日本語のみ)
微細化・多品種化が進む中、科学的半導体生産技術の核とも呼べるAEC/APC技術は、半導体製造の効率を左右する重要な技術になってきています。
Virtual Metrologyの利用、バラツキ低減などのプロセス制御、FDCによる装置の安定化、生産性向上、最適化、 コストダウンなどをキーワードに、この分野への関心度は年々高まり業界全体の注目を集めています。
今回はISSM2008の好機に改めてAEC/APCについて、これまでの変遷と現状を紹介します。 また、工場の統合的管理の中での位置づけ、統計的・物理的アプローチからのモデリング詳細と解説を行います。 さらに踏み込んで制御専門家の視点からの具体的事例をTutorial Sessionとしてご紹介します。
業界全体の動向を具体的に把握する事で、早期に実用段階へ移行し、現場へ普及させ、 産業への貢献に繋がる参加者皆様の日常業務へフィードバックして頂けることを期待しております。
講演者－参加者の交流のみならず参加者同士の交流促進も見据え、 デバイスメーカー、装置メーカー、ソフトメーカー等、各界からのご参加をお待ちしています。
ESH (Environment, Safety and Health)チュートリアル セッション
地球に優しい環境課題に対する意識が高まる事によりCSR(企業の社会的責任)が求められています。 半導体製造における環境負荷低減、限りある資源保全への貢献を通じ企業ブランドの向上を視野に新たなビジネス展開を探ります。