フォトレジストでは、昨�Qまではポジ型レジストを使い、解�掬�16nm以下、LWR（線幅の��さ：line width roughness）1.3nm以下、感度10mJ/cm2以下、という数値を�uていた。解�掬戮�LWR、感度の��つのパラメータはトレードオフの関係にあるため、��つのパラメータを最適化させる��要がある(図8)。今�Qは、ネガ型レジストを使ってどこまでいけるかの実�xである。 [→��きを読む]
EUVは����を透�圓靴笋垢�X線の�k�|であるため、光学�Uにはレンズではなく反�o��を�W��する。反�o光学�Uのマスクブランクスは、W/Moの繰り返し積層構�]を採っている。ここに�L陥が入るとパターンが歪んでしまうため、無�L陥にしたい。マスク検�hは不可�Lである。 [→��きを読む]
EUVのマスク、レジスト�\術開発のコンソーシアムである、EUVL基盤開発センター（EIDEC）が最�Zの��動報告を行った(図1)。�S長13.4nmのX線を使うEUVリソグラフィでは、ASMLだけが露光����を開発しているが、EIDECは露光����以外のEUV基本�\術を�pけ�eつ。出�@は国内13社で、�L外5社も共同研�|で参加、��原��作所とレーザーテックは����開発パートナーとして参加、3�j学と�噞�\術総合研�|所も参加する�k�jコンソーシアムだ(図2)。 [→��きを読む]
�櫂�バマ��権が�j�N研�|に挑む。「ブレーン・イニシアティブ（Brain Initiative）」である。この�T果、筆�vが期待する成果の�kつは、新しいアーキテクチャを使った�j�Nの考え�気��Zい思考プロセスを踏む半導��プロセッサの設��・試作だ。このことは本�Mの最後で述べて見たい。 [→��きを読む]
ファウンドリのUMCは28nmプロセスの量����を出荷しており、その量����模拡�jを進めている中、20nmプロセスをスキップして、14nmのFINFETプロセス立ち�屬欧冒世い鮃覆辰討い襪海箸���らかにした(図1)。 [→��きを読む]
![パソコンからモバイルへのメガトレンドの加�]に�官�する電子�Q社](/assets_c/900px/130527-mobileshift.png "パソコンからモバイルへのメガトレンドの加�]に�官�する電子�Q社")
パソコンからモバイルへの動きが加�]している。先週のニュースはこの動きを見��に反映している。ディスプレイパネル、NANDフラッシュ、CMOSセンサ、プリント基��、モバイル通信インフラ、��てが、スマホ・タブレットへのメガトレンドに乗っている。 [→��きを読む]
![パソコン�]開の早�]の�}：$200 PC、低電��プロセッサ、touch�\術](/assets_c/900px/130527-pickup245.png "パソコン�]開の早�]の�}：$200 PC、低電��プロセッサ、touch�\術")
昨�Q、2012�Qのmicroprocessor(MPU)販売高ランキングがIC Insights社から発表され、これまでのインテルおよびAMDのx86アーキテクチャー圧倒的2�咾�ARMモバイル勢が��っていたのが、ついにQualcommおよびApple向けを担うSamsungの2社がAMDを�{い�sく�T果となっている。とはいっても、依��桁違いに�sきん出ているインテルであり、AMDともども今後のパソコンの�妓�性に向けて新たな路線の�]ち�屬欧�見られている。長らく半導��の最�j応��分野を維�eしているパソコンに�瓦垢觝８紊塁x場の反応に�R�`である。 [→��きを読む]
![3月同様、4月も日本��半導��・FPD���]����の好調さ��く](/assets_c/900px/130523-bbratio.png "3月同様、4月も日本��半導��・FPD���]����の好調さ��く")
日本��半導��・FPD���]����が好調さを�e��している。このほどSEAJ（日本半導�����]����協会）が発表した、4月の�p�R�Y・販売�Y・B/Bレシオのデータでは、�p�R�Yが�\え��け、先月予�[した通り、B/Bレシオは共に1.00を��え好調を維�eしている。 [→��きを読む]
EUV（Extreme Ultra Violet）リソグラフィ�\術の現�Xが��らかになった。Intelは2013�Qに14nmのトライゲートFETプロセスを導入するが、次の10nmノードでは193iとEUVのミックスになるだろうと予�Rする。これはEIDEC Symposium 2013で��らかにしたもの。 [→��きを読む]
スマートフォンやタブレットに使われるアプリケーションプロセッサは、これまでロジックに分類されることが�Hかった。マイクロプロセッサのジャンルにそれを含めると、世�cのマイクロプロセッサのランキングは�jきく変動した。1位のインテルは変わらないが、2位にはAMDではなくクアルコムが入り、3位サムスン電子、4位にやっとAMDという順�Mだった。これはIC Insightsが調べたもの。 [→��きを読む]
