しかし、�kつのシリコンチップに10億個以�屬離肇薀鵐献好燭鮟言僂垢襪燭瓩糧�細化�∨，郎��Zは5nmまで縮まり、もはや原子のサイズに�Zづくようになってきた。このため、MOSトランジスタとしての動作を確保することが�Mしくなってきた。それでも、さらに微細化を進めてGate All Around(GAA)のようにゲート�┣祝貭床爾龍���層を��て包み込んでゲートリーク電流を「完封」してしまう構�]や、トンネル電流で動作させるT（トンネリング）FETのようにサブスレッショルド電流の��きをシャープにする新しいトランジスタ構�]が提案されている。�霾�的に化合�馮焼���を導入して性�Δ��屬欧訃}もある。

とはいえ、どの新�}を使っても原子の�駘�的サイズの限�cにはかなわない。また、量子��学的な不確定性原理によって位��と運動量の��らぎの積は、��してゼロにはならず、h/2（ｈはPlanck定数）より�jきいという�駘�限�cもある。すなわち電子がソースからドレインに走行してもその位��と運動量の��らつきを��確に�U御できなくなるのである。

つまり、�駘�限�cに�Zづいているため、シリコンチップ表�C�屬縫肇薀鵐献好真瑤鮖\やすことはもはや限�cに�Zい。本来、ムーアの法�Г老从儻桐�であって、�駘�法�Г任呂覆ぁ７从囘�に���]できる2次元ICは限�cに�Zづいているのである。よく�瑤蕕譴討い襪茲Δ�EUV（Extreme Ultra Violet：軟X線�S長の光）の����価格は150億��と極めて高く、��微細プロセスを使ったICはもはや�W価に���]しにくくなっている。かといって、EUVほど高価ではないがArFレーザリソグラフィは1�vのパターニング工��で3�vも4�vもずらしながら露光・現�気魴�り返すとなると時間がかかりすぎ、スループットが�jきく落ちてしまい、�T局高価なものについてしまう。

�k�気如▲妊献織襯轡好謄爐旅盻言儔修��妓�は変わらない。エレクトロニクスは�c�攀×_や工業��機�_から社会課��の解��に使われるようになってきた。高集積にすればするほど、機�Δ篝��Δ��屬�り、システムの消�J電��は下がる。AIのニューラルネットワークに��要なニューロン数はまだ極めて少ない。もっと集積度を�屬欧�AIの判��確率を�屬欧茲Α△箸い��lだ。このために量子��学的な�駘�限�cに�Zづかずに集積度を�屬欧��桔，鮃佑┐茲Α�

だったら3次元的にシリコンチップを�_ねればよい。このような考えは�O��に出てくる。MOSトランジスタはすでにFinFETと�}ばれる3次元構�]になり、CMOSセンサと画�欺萢�プロセッサはTSV（Through Silicon Via）で接��された3次元ICになっている。DRAMメモリでも入出��のバンド幅を広げるためHBM（High Bandwidth Memory）と�}ばれるDRAMチップを�_ねる�擬阿�使われるようになってきた。

ロジックでは、2.5次元と称して、シリコンチップを密に�Zづけてモジュールの密度を�屬欧觴����桔，�出ている。ソフトウエアでプログラムするCPUと、積和演�Qを行うGPU、さらに�O�yに専���v路をプログラムできるFPGAの��つがあれば、かなり�O�yなシステムを設��できる。仕様が絶えず変わる場合にはソフトウエアで処理し、仕様が�wまればハードウエア�v路で処理する。2次元でモノリシックなシリコンチップでは平�Cにサイズの�U限があるが、2.5次元モジュールではそれがなく�O�y度が高まる。

これまで1��のシリコンチップに�H数の�v路を書き込んできたが、無理に微細化して�H数のトランジスタを詰め込むのではなく、合理的な価格で可�Δ僻�細化�\術(28nm、40nmあるいは65nm)でチップを作ったり、その�k�陲�IP�v路をチップ化したりするチップレットという考え�気�出てきた。チップレットを実�△垢訃豺腓發任�るだけ低コストで作��する�桔，筺∪��Δ�HBM2とFPGAで高めるなどの考え�気盻个討�た。

また、次の半導��の応��として5G通信ではミリ�S�\術が登場する。ミリ�Sとは、30GHz以�屬亮��S数の電磁�Sのことで、�S長が10mm以下に�]縮する。となると、�S長に比例するアンテナの長さは、ぐんと�]くなり、30GHzでも1/4�S長でわずか2.5mmになる。こうなると半導��パッケージにアンテナを設けることができるようになる。RF�v路とアンテナ�v路が�kつのパッケージに収まる。

こういったことから、半導��パッケージ�\術がICの価値を高める�妓�へと向かい始めている。そこで、セミコンポータルでは、最新の半導��パッケージ�\術について紹介するセミナーSPIフォーラム「AI、5Gの新時代に�官�する新半導��パッケージ�\術」を11月27日13:30から開��する。ここでは、最新の半導��パッケージ�\術について実��関係�vあるいはパッケージ�\術関係�vの�機垢�らお�Bを聞くことができる。セミコンポータル会�^も会�^ではない人も聞くことができるオープンな場となる。��疑応答が楽しみである。