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5nm EUVプロセス:毬f勢はZ戦、日本勢は喞△粒亜湾勢はk人Mちか

Samsung ElectronicsのEUVリソグラフィ(EUVL)専ラインが5nm EUVプロセスの歩里泙蠍屬侭Z労している模様で、顧客の5GモバイルSoCの発売に影xを与えるかもしれないとの消息筋情報を、複数のL外メディアが先月報じた(参考@料1)。2019Qにも、Samsungの7nm EUVプロセスの立ち屬欧トラブルでれているという噂が業c内に広まったことがあった。

k機▲侫.Ε鵐疋螢咼献優垢農U發暦TSMCはすでにApple iPhone次期モデルA14プロセッサやHuaweiの次世代旗スマートフォンのKirin 1020チップ(盜饐省の通達で9月に]pm中V予定)を5nm EUVプロセスで量していると伝えられている。

Intelは7nmプロセスの歩里泙蠶稾造鮟o表、外]委mか

そんな中で、半導業cトップ企業であるIntelは、開発中の7nmプロセス(トランジスタ密度の点では他社の5nm相当との見気~。R1参照)の]歩里泙蠅垉1Qにわたって低迷したままで量に々圓垢襪瓩匹立たず、7nm CPUの発売画がれてx場投入が2022Qから2023Qになる、と7月23日の業績発表の席屐CEOのBob Swanがらかにした。

Swanは、7nmプロセスが立ち屬らない場合に△┐董半導デバイスの攵を他メーカーに委mする「g時官画」(Contingency Plan)をすでに策定していることもらかにした。その直後に、L外メディアは、IntelがTSMCと]委mの交渉をすでに始めているとの業c情報を伝えている。IntelはHPC/AIアクセラレーション向けに最適化されたエクサスケールGPU「Ponte Vecchio(開発コード@)」を2021Qに18万(300mmウェーハ)TSMCに]委mの予約済みである、とまことしやかにk陲暦湾メディアは伝えた。しかし、TSMCはして顧客情報をo表しない疑砲棖い討い襪里如Intelからの攵pmについてその真偽は不である。

失望感からインテルの株価落、期待感からTSMCの株価は_

Intelの発表に投@家は素早く反応し、今後への失望感から同社の株価は2割下落し、k気粘待感からTSMCの株価は2割以屬峺し、暗がはっきりと分かれた(R2参照)。

そんな中、Intelは、同社の\術開発・]の責任を負うTechnology, Systems Architecture & Client グループ(TSCG)の解と同グループプレジデントだった同社最高エンジニアリング責任vの8月3日け職を発表した(参考@料2)。]靆腓閥\術開発靆腓離肇奪廚迭し、ての靆腓Swanに直接報告することにしたが、長Qにわたり最高財責任vとしてeBayをはじめHくの会社を渡り歩いてきたSwan が長期にわたるプロセストラブルを解できるのだろうか。

SamsungもIntelも共にEUVL導入でトラブルか

Intelは、7nmプロセスからEUVLを攵プロセスとして導入することにしていた。10nm世代まではArF]浸にマルチパターニング\術を組み合わせて微細化を図ってきたが、7nmからはEUVLを導入するため、すでにASMLに最新型のEUV量咁を複数発Rしており、2021〜2022Qの量に間に合わせると見られていた。このため、業cの関係vからは、IntelがSamsung同様にEUVLの攵殾入段階でトラブルをQえているのではないかとの見気鮨すmも出ている。

中国勢はどうだろうか。中国最jのファウンドリであるSMICは、EUV露光をASMLに発Rし、昨Qに納入する予定であったが、盜饐省がオランダBに中国へのEUV露光の輸出を可しないように要个靴討り、入}のメドが立っていない(参考@料3)。歟肬易戦争やハイテク覇権争いはますます化するばかりで、SMICのEUV露光入}は絶望的だろう。

最先端ロジック量に関して、このままでは先行しEUVLを使いこなしているTSMCのk人MちになのではないかとHくの半導業cや証w業cの関係vは見ている(R3)。あれだけ長期に研|@金を投入してきた日本勢は、EUV露光を作ることとも使うこととも無縁な残念なXに陥っている。

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1. Intel、Samsung、TSMCQ社が使うロジックデバイスのx-nmプロセスという表現は、駘的な最小加工∨,鮨した厳密なものではなく、Q社が独Oにけた}び@であり、ずしも数値が小さいから加工∨,小さく性Δ屬箸聾世┐覆い海箸RTする要がある。Intelの10nmのトランジスタ密度だけ比べればTSMCの7/6nmとほぼ同等との見気~ではあるが、配線ピッチは文C通り「k長k]」である。
2. NY証wD引所における7月23日の株価とその後7月までの最W値(Intel)あるいは最高値(TSMC)の比較
3. EUVフォトレジストやマスクブランクスやマスクL陥検h機などEUVリソグラフィ周辺分野では日本勢が圧倒的な咾澆鯣ァしてL外の先端半導メーカーをмqしている。しかし、f国BはDupontのEUVレジスト量妌場誘致に成功し、SKグループはマスクブランクスの開発を始め、蘭ASMLは湾企業A収により検hも}Xけ始めており、日本勢もうかうかとしてはいられない。

参考@料
1. K:Samsungの5nm EUVプロセスに歩里螢肇薀屮詒擇?! マイナビニュース(2020/07/24)
2. K:Intelのプロセス開発責任vが8月3日で社、j模な組E再を実施 マイナビニュース (2020/07/28)
3. K:SMIC、EUV露光の入}のめど立たず - プロセスの微細化にれ マイナビニュース (2020/07/24)

Hattori Consulting International代表 K陝
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