日本���Bがベルギーimecと�\術提携交渉、さらには研�|所を日本に誘致か
ベルギーの先端半導��デジタル�\術研�|所であるimecは、去る11月７日に東�Bで�\術イベントを開��した。そこで日本���Bの半導��戦�Sの策定を陣頭指ｧする経�愱商��情報��策局の野原諭局長が、「ディープテックトランスフォーメーション：コンピューテイングパワーと半導��」と��して基調講演を行った。
野原��はまず、Intel CEOのGelsinger��はじめ著�@人の半導��の��来性に関する�@言を紹介した後で、「"No EUV、No Future. No future for Japanese Semiconductor Supply Chain." (EUVリソグラフィ�\術なくして半導��の未来はない。EUVなき日本のサプライチェーンには��来はない)」という�@言（迷言?）を紹介し、「これは、いったい誰の言��だと思いますか」と聴��に問いかけた。（図1参照）
図1 半導��の��来に関する�@言集 出�Z：imec Technology Forum 2022における野原��プレゼン�@料
半導��関係�vには当たり�iともいえる内容だが、誰もそんな言���O��は�瑤蕕覆�った。そこで野原��は、"It‘smy words（それは�Mの言��です）"と述べて笑いを誘った。
imecは、EUV露光����を所�~しており、さらにはASMLと次世代EUVリソグラフ�\術に関する共同ラボを設立して高NA（=0.55） EUV�\術の実��化をめざしていることは、周�瑤竜�実であるが（参考�@料1）、野原��は、「このimec/ASML2社と�Mたちが連携することは、��来の日本の半導���噞を構築するために��須（essential）だと�Mは�咾�確信している。�Mたちとimecは両�vの関係を深めあってウィン・ウィンの関係を築いていきたい」と述べた。
��に、野原��は、「我が国は�盜颪伴＼ぢ緘焼���で共同開発をすることを���Bレベルで��まってはいるが、何も�盜颪世韻妨造辰燭海箸任呂覆�、他の国や地域との連携も�pけ入れることにやぶさかではなく、（�盜颪箸隆愀犬箸蓮冒袤�的な連携を構築していきたい」と述べ、imecとの連携にむけて積極的に�Dり組んでいることをうかがわせた。
次に、新たに誕�擇靴�Rapidus社（参考�@料2）の代表�D締役社長に��任した小池淳�I��が、「��来の半導�����]: 微細化の課��に適応するインテリジェントなファブとスマートな���]����」と��して講演した。小池��は「先頭を走るライバルから10〜20�Q��れた最先端半導��開発及び���]を日本で行う」（同��の発言）�屬如�日�櫺い離▲薀ぅ▲鵐垢���要性を�喞瓦掘�IBMだけではなくimecとの�\術提携（実際には�~償�\術導入か?）にも�T欲を見せた（図3参照）。東�B�j学の��田忠広教�bのグループも、imecと先端半導���\術提携にむけ協議していることを��らかにした。
図2 日�櫺ざ╋箸砲茲�2nm�\術開発について�Bす小池社長 （著�v撮影）
2nm��プロセスにはASML-imecの高NA EUV が��要
野原局長が言われるまでもなく、2nmプロセス開発・���]にEUVリソグラフィ����は��須である。現在、日本では誰も�eっていないため、IBMから�\術導入することが��まっている。しかし、IBMのEUV����は旧型の研�|・試作��に�圓�ず、しかもIBMはすべての半導��工場をGlobalFoundriesに譲渡してしまって量���\術は�eっていない。�k�機�imecはASMLやTSMC、Samsung、 Intelはじめ世�cの�k流参加企業と�k��になってEUV リソグラフィ�\術と�Dり組んでおり、さらには�H数駐在する半導��企業の研�|�vが���Lを出し合って高NA（開口数：Numerical Aperture）EUV露光����の早期実��化を�`指している。Beyond 2nmには、ASML/imecが共同研�|中の高NAのEUV露光����が��要になる（図3参照）。
図3 ASML/imecのリソグラフィロードマップ：Beyond 2nmでは、EUV（NA=0.33）から高NA EUV（NA=0.55）へ 出�Z：imec Technology Forum 2022）
imecの最先端半導���\術研�|所を日本に誘致か
�匲学関係�vの�Bでは、日本���Bは、EUV�\術導入のためにimecと�\術提携するだけではなく、imecの最先端半導��研�|所を日本に（おそらく��湾TSMCジャパン3DIC R&D Centerのように筑�Sの�噞総合研�|所の敷地内に）誘致する交渉が水�C下で行われていると言われている。
imecはすでに�L外に研�|所をいくつも�eっているので、日本への進出も不�O��ではない。例えばオランダには、ヘルスケア関係の研�|所があるし、�盜颪離侫蹈螢世砲蓮▲侫�トニクスの研�|所がある。�垉遒砲蓮∪�功が�eぶまれていた国家プロジェクトを成功に導くため、経�愱傘下の組�Eがimecを日本へ誘致して同じ経�愱傘下の研�|所と共同研を設立する�Bか密かに進められたことがあったが、条�Pが折り合わず立ち消えになった。
IBMだけではなく、imecが日本の半導��ロジック�噞の復興に向けてどのように寄与するのか�R�`されている。
参考�@料
1. �K����、「ムーアの法�Г�1nm以�Tも��命へ、imecとASMLが次世代露光�\術の開発で協業」、マイナビニュースTECH+ (2020/11/27)
2. �K����、「日本の先端半導�����]会社『Rapidus』の会長に東哲�r��、社長に小池淳�I��が��任」、マイナビニュースTECH+ (2022/11/11)
