CMOSイメージセンサの世cチャンピオン、ソニー〜その驚きの\術開発
シーズとニーズの会というユニークな団が積極的な動をけている。Hくは電子材料Uの機垢会^の中心であり、お茶の水の化学会館を拠点に「新業開発のための研|と交流」をコンセプトにHくのカンファレンスも開している。
2017Q9月25日に開された別例会にはソニーセミコンダクタマニュファクチャリングのID開発靆臘垢量舮新吾が登場し、会場はk気にrり屬った。何を隠そう、門こそがソニーのCMOSイメージセンサの黄金\術である「裏C照o」の開発を立ちあげた人であったからだ。同はプレイステーションのチップとして東と共hした「セル」の開発にしていたが、CCDのCMOSへのき換えにDり組むべし、との社内T見をバックにCMOSイメージセンサにのめり込んで行く。
「1955Qのこと、ソニーがまだ東B通信工業といわれていた時代からトランジスタの開発にRしていた我が社は、日本初のトランジスタラジオTR55を発表し、世cをあっと言わせた。その後の開発では常に半導がベースとなり、ユニークなを世に送り出してきた」(門)
ソニーは現在にあってCMOSイメージセンサの世cチャンピオンであり、スマホの50%以屐▲妊献織襯メラの90%以屬寮つcシェアをeち、ぶっち切っている。300mmのウェーハξも月10万にZづいており、研|開発、設投@の両Cで、位の座はまずらぐことはない。
真っ暗闇でも見える性Α140°C以屬旅矼X下でも動作する機Δ鬚弔、さらにはDRAMを搭載し、1秒間のフレーム数を120から1000まで屬欧襪箸いΧ丹曚龍\術は今も進化をけている。しかし、何といってもソニーが\術的にブレークスルーをこしたのは裏C照oという`れ\なのだ。
「来の表C照oでは入o光が配線にぶつかってしまう。そこで発[の転換を行い、配線霾を下層にし、崛悗砲魯札鵐霾をeって行けば良いと考えた。まずは配線霾を作り込み、ひっくり返してギリギリまでシリコン基を削って行き、その屬縫ラーフィルタを乗っける。実のところ、成功はしたものの、まず無理と思われた開発であった」(門)。
それはそうだろう。配線霾はロジックICであるから約400°Cの低aプロセスで作り込む。しかし、その後の処理では約800°Cの高aプロセスを使わなければならない。二背反とはこのことなのだ。それでもソニーはまさに門外不出の\術を作り屬、このT盾を解してしまったのだ。
裏C照oにいて積層型を開発するが、これでv路覦茲伐菫覦茲鯤魅船奪廚吠`することに成功する。これでスマホへのj量搭載を耀uして行くのだ。さらにDRAMを搭載する3層型のCMOSイメージセンサ開発に成功するが、これまた世c初の\術であり、実にMしい代颪如何と開発に3Q間もかかったという。
「次世代に瓦垢覲発はさらに加]する。フォトダイオードの屬吠亳素子センサを乗せることや、マルチ型センサで色の徴を見るだけで/饑を見分けていくことなど、まだまだIoT時代に向けて無限の可性があると思っている」(門)
ちなみに、当C要とされるCMOSイメージセンサを月間100億個作るためには、何と300mmウェーハ換Qで月100万のキャパシティが要になるという。どうあっても、ソニーのj型設投@はこれからもいて行くしかないのだ!!