よく�瑤蕕譴討い襪茲Δ法�AEC/APCの基本はフィード・フォワード、あるいはフィード・フォワードとフィード・バックとの組み合わせで�攵��U御する�\術である。例えば�~単な例でMOSLSI���]におけるゲート・ファーストのプロセスを�[定してみよう。ゲート形成工��を通�圓靴晋紊慮��hでゲート長が、��格内ではあるが��格の中心から少し長めに形成されていると検出されたとする。その場合は直ちにその情報を次のソース・ドレイン形成工��にフィード・フォワードし、ソース・ドレインのpn接合深さを少し深くするよう指��を出してもらう。そうすれば出来�屬�ったものの実効チャンネル長は、ゲート長が��格の中心であったのものと同じ長さにできる。電気的に最も�_要なのは実効チャンネル長なので、良��率の工���ξ�（Process Capability）Cp値は維�eできる。(�R2）これにフィード・バックシステムを��けておけば、�iのゲート形成工��にゲート長が長かったことをフィード・バックし、是��処��を講じることが出来る。(�R2）

この考え�気��攵�ラインを構築すれば、�O己��常化ラインが構築できることになる。��ラインとまではいかなくても、数��の設�△離札奪箸嚢柔�されるインライン設�△任��O己��常化されればエンジニアの省��化も可�Δ任△襦�

筆�vはNEC在職時代の1979�Q頃、この考えを思いつき、何とか学問的にもシステマティックにまとめられないかと考えた。工業は再現性の�{及である。比例縮小�Г里茲Δ��Sに認められる理�bにしなければ現場では通��しない。学�攣�代の電子�U御工学のノートをひっくり返したり、当時の書�顱��b文もいろいろ探したりして検討した。当時同じ職場に居た�h�兢飴���（現リアルビジョン代表�D締役社長・日本半導��ベンチャー協会副会長）(�R3）などコンピュータの専門家にも相�iした。ご本人はすっかり忘れておられるかもしれないが、筆�vは���xだったのでその場�Cを今でもよく憶えている。しかし当時の筆�vの実��では、変数が�Hすぎて、とても�U御理�bとして確立させる所までは到達できなかった。

しかし折角いろいろ調�hし検討したので、1982�Qにその考えをまとめて����出願することにした。当時は日本でもシステム����がやっと認められるようになった頃であったが、�����靆腓傍錣蕕譴腎n平��（後のNEC理��・��的財���霙后�現在東���j学客�^教�b）の「�C白い。やってみよう。」の�k言で出願が��まった(�R4）。システム����（�R5）は成立したが、先に出した��法����（�R6）は残念ながら無効審判を��こされ�Hれてしまった。しかし�盜饅亟蠅砲���法とシステムの両�気了恬[を合わせて出願し成立した(�R7）。当��ながらまだAPCという言��もAECという言��もなかった時代なので、そのような言��は使っていない。したがってAEC/APCという単語で検索してもヒットしないが、フィード・フォワードという��念を入れた半導���攵�システムという点では�Rれもなく日�櫃鯆未犬萄能蕕里發里任△襦�

図1は�����o報の表�Lの�k�陲任△襦��屬�ら��法����（登�{までには至らなかったが、�o��文献としては�T味を�eつ）（�R6）、日本で登�{されたシステム����（�R5）、その両�vの内容を合わせた�盜�������細書の冒頭の�k�陲任△襦Ｆ�本文の������細書の図�Cはまだ�}書きの時代なので、きれいにトレースされた�盜饅亟������o報の図を使って説��すると、図2はフィード・フォワード、図3はフィード・フォワードとフィード・バックを組み合わせた原理をそれぞれ説��する図であり、図4は�k実施例としてシステムの構成を��す図である。勿�b日本出願の��細書にも図2、図3に�官�する日本語の同じ図�Cがある(�R5、�R6）し、図4に�官�する日本語の図�Cもシステム������細書（�R5）にある。

図1.AEC/APC������細書（�����o報）の冒頭
　�屬�ら��法����（�R6）、システム����（�R5）、�盜饅亟�����（�R7）

�k�機⊃�場では当初この考えは�pけ入れてもらえなかった。その当時は長い巻�颪砲靴心浜�表を常に広げて低い角度からの��線で眺め、��格の中心値からどちら�笋砲困譴討い���向にあるかをいち早く察�瑤掘⊂}を�]つのが半導���攵��\術�vの腕の見せ所であった。こんなシステムにしたら、いつからラインが��らぎだしたか判らないではないかという理�yである。

図2.フィード・フォワードを組み込んだシステムの原理を説��する図（�R7）
　　　（日本語の図は�R5、�R6）

図3.フィード・バックとフィード・フォワードを組み込んだシステムの原理を説��する図（�R7)
　　　（日本語の図は�R5、�R6）

図4.システムの1実施例(�R7)（日本語の図は�R5）

しかし職場で�g々だったこの����は後日、外国企業との����ライセンス交渉で威��を発ｧすることになる。�盜饅z企業との交渉時にこの����が先�気琳`にとまり、�h価されたため交渉が�~�Wになったと聞かされた。以後NEC��的財���陲呂海�����をクロスライセンス交渉時にしばしば����したようである。そのためこれは平成6�Q10月に発��協会神奈川県���霙江泙��pけ、またNECからささやかながら報奨金をいただいた。もちろん、いずれの����も�Jに20�Qの期限切れである。

�峙�の理�yで当初は�mもれていたが、職場でいち早くこの����の価値を見出してくれたのが、AEC/ APC　Symposium Asia 2009で運営委�^会委�^長を��めた現NECエレクトロニクス（株）�攵玢�陬廛蹈札攻\術�陬轡縫▲┘�スパートの本間��智夫��である。「今はもう使われていますよ」と、定期的に行われる社内の保�~����調�hでいつも高い�h価をしていただいた。

�k昔�iのスーパーコンピュータの機�Δ�、今は通常のパソコンに詰まっている。10�Q�iはスーパーコンピュータでしかできなかった分子軌�O�bによる解析なども、パソコン�屬任任�る時代である。したがって現代のパソコンでは�H変数処理も�颪凌瑤任呂覆�、行�`式を��ずくで解くこともできる。そして今では例えば�盜馘纏凖典ざ\術学会�b文誌などでもAEC/APCの�b文を�Hく見るようになり、�攵��\術の�k�j分野に成長していることはご�R�瑤猟未蠅任△襦�このような�b文を読むたびに、30�Q�iの�O分の実��ではとてもここまでは及ばなかったというほろ�Zい��めの気�eちを�Qくと共に、ここまでこの分野を引き�屬押�育てられた関係�vのご努��にあらためて思いを馳せている。

AEC/APC�\術は�盜颪�ら来たと思っておられる�機垢��Hいのは残念であるが、しかしこの考えを先に�h価してくれたのは�盜颪覆里如△修譴盪��気�ないかと思う。出願の����をされた�n平先�擇函�NECでお世�Bになった本間��の慧眼には、本�Pを思い出すたびにいつも感�aしている。

参考文献
�R1　�氾跳�二「チップの���]歩�里泙蠅��屬欧襪燭瓩�AEC/APCシンポ、�W��価値は高い」、 http://www.589173.com/archive/blog/chief-editor/091029-apc.html、2009�Q10月29日
�R2　�r志田元孝「ナノスケール半導��実�z工学」丸��出版センター刊（2005）p.241-p243
�R3　�h����に関しては例えば�谿羚�夫・��田郁夫��、「独創する日本の企業頭�N」集英社新書(2006)で紹介されている。
�R4　経緯は�兀襌�哉監�T、�r志田元孝��著、��信文、「これからの��的財�庀��」税��研�|会刊（2007）p.110-p.113
�R5　�r志田元孝「半導������の�攵�����システム」 ��願昭57-140253 、��開昭59-029427、���o平02-007178、 ����登�{JP1583574、発��協会神奈川県���霙江沺嵌焼�������の�攵�����システム」(1994)
�R6　�r志田元孝「半導������の���]�桔　���願昭57-107802、��開昭58-225640、���o平01-042497、審判平03-000105
�R7　Mototaka Kamoshida, “Production System for Manufacturing Semiconductor Devices”, USP 4,571,685, Issued Date Feb.8, 1986, Priority Filed Date Aug.12, 1982〔JP〕Japan 57-140253＆Jun.23, 1982〔JP〕Japan 57-107802, Features;
Feed-back and Feed-Forward System, Feed-Forward System