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電子立国復で未来をけ

先ずは長期的野をeとう
久し振りに機械振興会館に行った。`的は2015Q9月26日に開されたIEEE 東B霍岷蕾颪暴仞覆靴董東B工業j学@誉教b岩井洋先擇痢2015QIEEE Cledo Brunetti Awardp賞記念『微細化限cがる電子デバイスの未来』」(参考@料1)を聴講するためであった。まずは御p賞に瓦靴匿瓦茲蠍羹忙譴函∪擇瞭頃の御研kにwTを表したい。

ご講演内容と共に感銘をpけたのは、岩井先擇85Q先、つまり2100Qまでを野に入れて電子デバイスの未来をXっぽく語られたことだった。Mになるが、75歳をえて後期高齢vと言われるようになると、5Q先ははたしてO分は擇ているかという思いが先に来てしまい、10Q先でさえも考えられなくなっているO分にとって、覚せよとの_いk撃を食らわされた思いであった。

以i、孫Iは先を見通す桔,箸靴董◆10Q先のようなはるか来のは誰が考えてもそう狂いはない。ってまずは遠い来をイメージして、次いでその実現のためには3Q先のZ未来はどうなるかを考え、そしてそのためには今は何をすべきかを考えるのだ」と述べておられた(参考@料2)。

iにも記したように(参考@料3)、50Qiに筆vが学擇虜◆△泙誓い涼罎ブラウン管テレビの時代に、東j学電子工学科の故和田信教bが「来は]晶のフラットパネルで壁Xけテレビが可Δ砲覆襦廚判劼戮蕕譴鍋]晶の研|を進めておられたことや、学会での反bや嘲笑をものともせず、ガラス繊維の中に光信、鯆未靴督命を行うという光ファイバ通信の研|を進めておられた東j学電気通信研|所教b゚圭Yk先擇鮖廚そ个垢函⌒kつの噞が興隆するためには、それなりの先見のをeった先~vがいて、少なくても30Qiから心pをRぐグループがあることが要である。50Qiには今の]晶フラットパネルの時代や光ケーブル通信の時代を予Rできた人は何人いたであろうか。そういうT味でも85Q先のことを考え、今何をやるべきかを説く教bがおられるのはj変心咾ぁ

国家プロジェクトも長期的野でMを
それに先立ち2015Q9月18日に6vTIA-nanoシンポジウム(参考@料4)が開され、聴講に行った。噞\術総研|所の金冑咀}副理長が1期2010Q-14Qの成果を報告され、今後の2期2015Q-19Qのビジョンを説された(参考@料5)。2期は先を見越して高エネルギー加]_研|機構と連携して光・量子分野(参考@料6)を採り屬押△気蕕肪Sj学附闃院と共にナノバイオ実化のための戦S組E(T-CReDO)を立ち屬欧謄淵離丱ぅ\術分野(参考@料7)をDり込んで推進するとのことであった。今後のさらなる成果が期待される。SEMATECHもIMECも長期間Mして成果を出している。是TIA-nanoのようなプロジェクトも、時限が来たら終わりということではなく、長期ビジョンの基に折々の脱皮や改変をしながら、長くMしてもらいたい。

余iになるが、定Qになり組Eを`れるとb文を読む時間は擇困襪發里痢や_に触る機会がなくなり、どうしても机屬咾主になってしまう。主流が見通せなくなることを恐れて、Q金のため交通Jがあまり負担にならないJ囲で、無料の講演会やt会に出かけ、新しい識をuるよう努めている。しかしそのような努をけていても、やはり学会発表やb文になるまでの間にタイムラグがあるからであろうか、出かけるたびに何らかの新しいことを気かされる。

この度もTIA-nanoのパンフレットを見ていると「走h型ヘリウムイオン顕微」という言が`にとまった(参考@料8)。現在「RBS」、tちRutherford Back Scatteringという言が定するiは「MeVヘリウムイオン後g乱スペクトル」(参考@料9、10)と言われ、筆vの学位b文にも関連する分野でもあったので、ヘリウムイオン顕微とはどういうものだろうかと興味をeった。しかし、残念ながらパネルもtされていない屐2-3人にも聞いてみたが、原理を説してくれる返はuられなかった。

帰瓩靴Googleで検索すると「走h型ヘリウムイオン顕微」は、RBSの徴は元よりSEM(走h型電子顕微)とFIB(集Jイオンビーム)の両気長を兼ね△─△靴もTEM(透垠薪纏匕家)のような使い気皺Δ箸里海函点深度が深く、zな画気レビューペーパーになっている(参考@料11)ことを瑤辰拭噞\術総合研|所では共施設として開放されている(参考@料8)とのことで、この設△妨造蕕此広くされることを願う。顧客がすることでプロジェクトも長きする。

屬袰Zにある分野ではがむしゃらに働くeがどこでも見られる
冒頭の機械振興会館にはJEITAがJEIDAであった時代から東B工j学@誉教b谿羚夫先擇慮羯愼海妊轡螢灰鷆\術委^会(参考@料12)が組Eされ、その下霑避EにH層集積\術動向調h専門委^会(参考@料13)があった。そこでH層ウェーハニーズ調hワーキンググループが成されてSOIウェーハのY化(参考@料14)が進められたおり、筆vは主hをせつかったのでよく通った。ワーキンググループメンバーがH忙だったため、いつもD刻5時からの会合だったが、それでも谿羸擇亘v出席され、指導された。

(株)電子ジャーナルが閉鎖されるとき、v浦集長をお訪ねした。v浦は土曜日曜もなく出社することで~@だったが、期せずして、「我々はそれなりにがむしゃらによく働きましたよね」ということになった。業のPしさを言外に含ませながらの述Uであったが、@kJやったという気eちが滲み出ていたk言であった。

先の和田研|室も゚係|室も、当時は煮えたぎるような気があった。そしてまたRBS草分けの頃のカリフォルニア工科j学 故J. W. Mayer研|室もまた世c中から研|擇集まって気に満ちていた。当時は駘学靆腓硫]_を借りていた屐会社から戻ってきた研|^もHく、が懸かっている研|^間のマシーンタイム争奪戦はすさまじいものがあったことを記憶している。盜颪の源を見た感がしたと記憶している。

新しい噞がきる時や新しい学問分野がける時は、j勢の人をその妓に向かわせる風の`のような嗄なエネルギーが要である。1000人単位の職を創出する工業を擇濬个垢里蓮⊃人のわずかな人数では、よほどのm運が伴わない限り無理である。

集まってSで機運を興そう
そのT味で今求められているのは、ワイワイ集まってSで噞をこす機運ではないだろうか。真偽のほどはわからないが、半導勃興期には通愱の官^が蓮▲Εスキーを飲みながらワイワイやってrり屬り、その中から優れた策が擇泙譴襪畔垢い燭海箸ある。1967Q通愱j型プロジェクトの頃だから、今から半世紀もiのBである。攷C`なメディアにはまた眼をむかれるだろうが、そのくらいのことがされないと、文zのLも出ないのではなかろうか。

i記のIEEE東B陲里換岷蕕虜埜紊法岩井先擇「電子工学分野ではもう完に中国に負けている。欧Δ粒慍颪ら帰って来たばかりだが、飛行場では周りに中国人が常にHかった」と述べておられた言が印に残った。k機TIA-nanoのポスターセッション会場でお会いしたz国立j学の講師を`指す{い科学vに、「j学でも今は『半導』と冠がつくと学擇集まらないので、その言を外してくれと言われる」と聞かされた。世cベースでは半導噞Oは順調にPびているにもかかわらず、f国、湾、盜餞覿箸鵬婦化され、その莫jなW益はそのような企業に集中している。かつての「電子立国日本」の気はどこに行ったのだろうか。

85Qと言わないまでも数Q先を見越して、日本のエレクトロニクス業cを再興する覇気は擇泙譴覆い里世蹐Δ。投@金Yが高いと言うのなら、なぜW価に作れる戯を考えないのか。高YなEUV露光でなくても、電子ビームをするOもあろう。昔は集J電子ビームをuるためにH数の均kな電子銃を作るのが困Mだと言われた時代もあった。しかし今なら東j学@誉教b江刺喜先擇篥豁B工j学教b越田信I先擇砲茲譴弌‰H数の均kな電子銃をMEMSで作ることも可Δ任△襦併温憂@料15)。このような日本発の\術を積極的に国内で化する機運が求められる。

\術のみでなくマーケティングも忘れずに
但し、\術だけあってもその\術を何に使うのか、何を作るためにするのか、作ったもののx場があるのかという探|もjである。垉遒旅餡肇廛蹈献ДトでLけていたものと考える。この分野の経Jは攵摚△慮|と異なり、わずかのYで済む。国立の策研|j学院j学があって、立派に機Δ傾弩イ靴討い襪里世ら、半導に限らず広く噞を横した、c間ベースのマーケティング研|j学院j学があっても良いのではないかと常日頃思っているのだが、いかがであろうか。

官にBせば「マーケティングはc間がやること」とのことである。それならば、とcにBせば「成果がすぐにはRれない」「実績をh価するのがMしい」という反bであった。それは「策」であっても「x場(創出)」であっても同じであろう。

LSI共同研|所の成功要因は、基礎的共通的課に化したからとされている(参考@料16)。マーケティング研|にもSで協してできる基礎的、共通的な課は僂箸△襦IoTので擇泙譴諫x場などは、そのような研|から擇泙譴襪發里眈なくないのではなかろうかと思う。

東Bj学j模集積システム設研|センター客^研|^
東Bj学j学院工学U研|科電気U工学専常講師
田R先端財団プログラムオフィサー
r志田元孝

参考@料
1. 岩井 洋「2015QIEEE Cledo Brunetti Awardp賞記念『微細化限cがる電子デバイスの未来』」、IEEE東B霍岷蕾顱2015Q9月26日
2. 孫 I 2005Q4月24日 NHK放映
例えば谷本~「孫 Iが掲げる『300Qビジョン』のT味」でも貉櫃榔える
3. r志田 元孝、 “先見のは先入茲砲箸蕕錣譴覆い海箸ら始まる”、Semicon Portal 、2013Q6月16日
4. 6vTIA-nanoシンポジウム つくばイノベーションアリーナナノテクノロジー拠点(TIA-nano) @源好循環を任好ープンプラットフォームTIA-nano
@料はその後、局長 岩田 普より下記が提供されている
https://www.tia-nano.jp/events/2015/0930.html
5. 金 敏}、「TIA-nano1期成果と2期ビジョン」6vTIA-nanoシンポジウムつくばイノベーションアリーナナノエクノロジー拠点(TIA-nano)、17Sep.2015 峙岩田より配信された@料
6. 野 E「光・量子で拡がるTIA-nano連携」同
7. 松 「TSUKUBAから発信するライフイノベーション―ナノバイオ実化のための戦S組E(T-CReDO)−」同
8. TIA nanoパンフレット“「つくば」から未来の噞へ 2期[2015Q―2019Q]” 2015.08 p.13
9. 例えばr志田 元孝「シリコン素子とイオンビーム後g乱スペクトラム」、日本T晶成長学会誌3、76 (1976)
10. I.V. Mitchell, M. Kamoshida, and J. W. Mayer, “Lineshape Extraction from MeV He+ Backscattering Energy Spectra: Aluminum Oxide on Silicon,” Phys. Letters 35A, 21 (1971)
11. G. Hlawacek, V. Veligura, R. van Gastel, and B. Poelsema, “Helium Ion Microscopy,” J. Vac. Sci. Technol. B32(2), 020801-1 (2014)
12. (社)日本電子工業振興協会シリコン\術委^会
13. (社)日本電子工業振興協会シリコン\術委^会H層ウエーハニーズ調h委^会
H層集積\術動向に関する調h研|報告書掘蕎 H層ウエーハニーズ調h報告 (社)日本電子工業振興協会 平成6Q8月
H層集積\術動向に関する調h研|報告書検蕎 H層ウエーハニーズ調h報告 (社)日本電子工業振興協会 平成7Q6月
14. SOIウエーハY仕様 JEIDA-50-1996(96-基―1)、(社)日本電子工業振興協会 平成8Q3月
15. 例えば池 尚, 小 , 吉田 孝, フ n, 吉田 慎哉, 宮口 裕, 室 真徳, j井 英之, 越田 信I, 江刺 喜、“並`電子線W画アクテイブマトリクスnc-Si C電子源の開発(検法鼻61v応駘学会春学術講演会予M集18p-F2-12、p.07-042 (2014)
16. 谿羚夫著、「世cをリードする半導共同研|プロジェクト」、工業調h会刊(2008)、1章LSI 共同研|所、p.15に「基礎的共通的」の説が記載されている

ごT見・ご感[
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