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450mmウェーハ実化への挑戦

世cで先頭を走りつつLSI]業に挑戦する企業は、2015Q頃にはTSVによって3D積層構]なども採すると筆vは考える。設ノードが10nmに到るにはEUVが実化されなければ、Oは険しいがEUVはどうなるか?寄斃椴未鰒らす\術}段からは、SOIも考慮されるだろう。これらの路線のjきな問は高コストに陥ることだ。このためコストダウンできる要因も開発プログラムに加えなければならない。

その確実なOは450mmウェーハの採だろう。IBM、インテル、グローバルファウンドリーズ、TSMCそして星電子の5社は、|々のタイミングで450mmプログラムに参入する旨をo表している。残念ながら我国のデバイスメーカーはそのような立場にないようだ。450mmプログラムにおいて直ちに求められることはその膨jな開発コストだ。今の段階で450mmプログラムの成否は見えないので失`するリスクがないlではない。

1990Q頃における300mmウェーハへの々圓了の歴史を思い出すと、k陲瞭本勢は先行グループの成功例を見極めた後で本格的に300mmプログラムへ向けて舵を切った。そしてその戦術はうまく成功した。今vの450mmプログラムにおいて垉遒寮功xを踏するのだろう。この2番}戦術なら確実にリスクは軽される。万k先頭集団が失`しても見ているだけなら害は及ばない。うまく進んだと見極めてからでは少々れるが構わないのだろう。峙5社などの成功を見て、それから脱兎の如く邁進すればよいのだ、と考えて450mmプログラムを日本のデバイスメーカーは進めるのではないかと、筆vは考えている。

450mm ウェーハ]開発プログラムに最初に}したのは SEMATECH 傘下のISMIだった。ISMI (International SEMATECH Manufacturing Initiative)は、半導プロセス・攵\術開発コンソーシアムであるSEMATECHの組E下にあり実を行う頏になっている。o開されているプレゼン@料によれば、ISMI は300mm の実化の時の経xに基づきに~効であったテストウェーハをHする疑砲鬲めている。

例えば、ISMIと協関係にある]メーカーが450mm専の試作機を作ってもその機械を直ちにテストできない。┣祝譴弔の450mmテストウェーハなどは入}にZ労する。それでは試作機の試xも改良もできない。この情を300mmの時の経xから^瑤靴討いISMIは450mmテストウェーハなどを協関係にある]メーカーに与している。このようにISMIは450mmの]プロセス開発においてH数のメーカーと協して開発Jの低コスト化と時間のI約を図っている。例として述べた┣祝譴弔の450mmテストウェーハのための撻ΕА璽呂呂發舛蹐ISMIが素材メーカーから調達する。

ISMIは以i、櫂謄サスΔ離ースチンxにあったが、ニューヨークΔ離▲襯丱法次Albany)xに‥召靴拭その理yは、アルバニーx在のCNSE (College of Nanoscale Science and Engineering)と共同業を滑に進めるためだ。

セミコンポータル(2010Q10月29日)や外電が詳しく伝えたが、昨Q9月27日、ニューヨークΔ450mm開発プログラムをコンソーシアム形式でスタートさせると、クオモが発表した。予QYは、5Q間で44億櫂疋襪任△襪里梅に換Qすれば、およそ3,740億になる。ただし、この金YにはIBMを拠点としたCommon Platform Allianceなど450mm以外の半導関係のプログラムへの拠出も含んでいる。この企画に直ちに乗ったのがi述の5社で、日本勢は入っていない。予Q44億櫂疋襪箸倭蠹の@金だが発表の限りではどのように配分されるのかは定かではない。ただ、Δξjに@金を拠出し研|開発棟を新築することは優先順位が高いと思われる。

加えて、この5社が、コンソーシアムに拠出する投@Yは別にあるだろうと筆vは考える。たとえば、インテル、星、TSMCの2010Qの投@Yはそれぞれ52億ドル 、109億ドルそして59億ドルなので3社だけで合220億ドルに達する。仮のBだが、5Q間で5社がコンソーシアムに50億ドル度を拠出するのは不可Δ任呂覆い呂困澄こう考えればシードマネーの峙の44億ドルは直ぐに2倍になる。こう考えると450mmウェーハの]プロセスの開発を達成するのに要な金Yは順次投じられるだろう。アルバニーのニューヨークξj学のCNSEはユニークなT在だ。CNSEでは、半導業cと協し、経済的に真に争のある]\術を開発するというミッションを掲げている。

ニューヨークΔこのような策を実施するのにはjきなT味がある。まず世cからk流の人材をコンソーシアムのためにH数集めることができる。k陲任録1000人ともいわれる人材は日櫺い修靴謄▲献△覆匹ら参加するだろう。彼等は世cから夢とT欲をeって集って来て懸命に働くだろう。そしてjきな成果をみ出すのに違いない。彼等の子弟はΔ粒鬚貌学あるいは進学するだろう。子弟のは低いはずもなく学鬚気づくだろう。k陲瞭反箸凌傭はΔ撚板蹐鮹曚だろう。tち、L外から参加する人々は人口純\に寄与するので、T果は「人寄せ効果」としてもjきい。人口が少している日本から見ればうらやましい限りだ。彼ら、彼らは争が高い人材であり、高給で報われ消Jし税金を払ってくれる。Δ砲箸辰峙蕕塁xcが\えることは間違いなく迎すべきことだ。

その屐▲灰鵐宗璽轡▲爐寮功率は、CNSEの提携で屬ったが、成功すれば半導\術の開発史にjきなエポックを刻むことができる。Zくにグローバルファンドリーズのファブ工場があるが、450mm開発プログラムの成功をもって当地に新しく450mmファブを建設することもありuる。そうなればこの地がLSIファンドリーの新しいk極として発tするだろう。盜颪]業の凋落がいわれて来たが、その凋落の動きはこれをきっかけにスローダウンするかもしれない。外電によるとオバマj統襪3月17日、ワシントンΕ轡▲肇觜抒阿砲△襯棔璽ぅ鵐絢劼旅場を察してQ国企業と争う盜颪陵⊇亰]業への金融мqを啣修垢觧櫃鮟劼戮拭オバマはO身が出[するj統訛をT識したのだろう。

盜颪離ぅ鵐謄襦▲▲奪廛襪修靴KLAテンコール社などは世cの~数なエレクトロニクス]業であり、豢機噞などもせ]業は優れたξをまだ誇っている、と考えるべきだ。

エイデム 代表D締役 j和田 敦之
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