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東の16積層NANDフラッシュにみる\術

東の半導\術陣の実は、同社が経営問をQえている現在も衰えを見せていない。そのことはこの8月4日に発表した256GBのNAND型フラッシュメモリ(参考@料1)を成功裡に開発したことで伺える。それは、TSV(Through Silicon Via)\術を使って16チップ層を楉未靴3D構]である。この16層は、としては世cでも最高レベルだ。

シリコンバレーにあるサンタクララにおいて8月11日〜13日の3日間開された「Flash Memory Summit 2015」でこのデバイスを東はtした。TSVはシリコンウェーハにe穴をEり金錣鳬mめ込んでT線を構成する}法で、]にはMしいプロセス\術を要とするが、東はこの\術をマスターしたのだ。

デバイスはこのTSV構]のために配線に伴う寄斃椴漫寄暘B^が最小に里瓩蕕譟T果として]度は同等と比べて]く、かつ消J電は50%度、削されている、と東は主張している。データ書込み(プログラミング)、そしてデータ消去には、高い電圧が要だが、これらを実施するコア電源は1.8Vに、そして入出のI/O電源は1.2Vに抑えられた、と東は発表している。

フラッシュメモリは最初NOR型が東で開発され、1984QのIEDM(International Electron Device Meeting)において、当時東社^のrK富士d(w称、S)が発表した頃から始まり、東には長い歴史がある。1992Q、東とSamsung Electronicsはフラッシュメモリの共同開発と\術仕様・情報の供与契約を締Tする。これを機にSamsungは、フラッシュメモリの業に参入し成功している。NANDフラッシュメモリの世cランキング(参考@料2)、例えば2014Q4四半期におけるDRAMeXchangeの発表では、売幢Yが24億4050万ドルで星がトップ、2位東は、19億1490万ドルである。興味ある実は、SanDiskのT在だ。SanDiskはウェーハファブを保~せずに東のファブでものづくりをしている。2014Q4四半期のデータで3位、15億8960万ドルを売り屬欧拭C白いことに東とSanDiskの売り屬欧鮹噂磴鵬Qすると、35億450万ドルになり、星をえて世ckになる。

256GBとは膨jな数である、最Zソフトバンクの社長が2018Qには1チップ屬離肇薀鵐献好真瑤300億個を越える旨の予Rを発表したが、256GBは16チップのメモリとはいえ、その数を楽に越えた。256GBはメモリービット数だけをQしても、1ビット= 1 トランジスタなので、トランジスタ数 = 256×1024×1024×1024、tち27.4878×10の15乗となり、300億 = 3×10の10乗を越える。もちろんデバイスは、センスアンプ、I/Oバッファ、アドレスデコーダ等も含み、Q々てトランジスタを要とする故に、2018Qをiにして問なく300億個越えが実現した。

東はこの\術を完成させるのに際してNEDO(新エネルギー・噞\術総合開発機構)のLを借りた、としている。NEDOの関心は、低消J電デバイスなので、消J電が50%削されたこのデバイスの成果を議bしたのではないか、と筆vはM}に推Rする。

筆vがR`した点はにあり、それはTSVだ。TSV\術はSiemens社が1994Q5月に盜颪暴亟蠅靴道呂泙辰拭それは盜o告番US57670001Aで、発vは、E. Bertagnolliと H. Kloseの2人だ。出願日から20Qが無に圓た。世cの数Hの人々が先例などのo@料を提供して無効審判を試みたはずだが、それに耐えて擇びた。は無に~効となり、その20Qの命を2014Qにうした。東はm運だ。なぜなら咾ったSiemensのが昨Q切れ、垉遒霊C颪砲覆辰燭らである。東が開発したこの256 GB NAND フラッシュメモリはこれから本格商戦に入るものと期待している。


参考@料
1. 東:世cで初めてTSV\術をいた最j16段積層NAND型フラッシュメモリの開発
2. NANDフラッシュ、j}トップ3社を下位3社が{いかける (2015/02/17)

エイデム 代表D締役 j和田 敦之
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