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半導のトレーサビリティの本はk気通

Mは今、半導デバイスのトレーサビリティの世cYを仲間と作り屬欧茲Δ箸靴討い襦トレーサビリティの要は Identification であってS語でIDと書くことがHい。トレーサビリティはヒトやモノを見えない絆で唯k無二のIDとTびける仕Xけである。

ヒトのIDの場合、世の中では免証やICカードが使われる場合があるが、これらはPSであって厳なIDにはならない。PS性は偽]される可性がある。パスポートの偽]はよく瑤蕕譴討い襦j(lu┛)阪では今Q、住基カードを偽]したvが現れた。

ヒトはO身のDNAをIDとすべきである。厳密さが要なMの立証にDNAが使われることはしいといえる。同じDNAは100兆人に1人の割で現れると言われているが、世cにはHくても100億人度しか人間はいない。ヒトのDNAは擇泙譴討らxぬまで変わらないため、そのIDはヒトが常時携帯していることになる。DNAをIDとすれば、ヒトは幼iサでもj(lu┛)学院擇砲覆辰討蘯匆饋佑砲覆辰難Tしても、そしてご隠居さんになってもk擇隆崙韻IDをeち歩くことができる。これを、IDのk気通椐桐と我々は称している。k気通椐桐はIDに要な要Pである。

半導のIDをパッケージに刻印もしくはマーキングしてもしいトレーサビリティとしてはT味がない。パッケージ表Cを削って磨けば最初のIDは消えるからだ。次に別のIDをM}に刻印するのは3vにとって容易である。ウェーハにミクロンサイズで小さく直接刻印できれば相当に咾IDになる。偽(にせ)の刻印がMしいためである。

さて、ここでのキーワードはダイレクトマーキングである。IDはヒトやモノに直接マーキングすべきである。tち直接刻印するダイレクトマーキングのみがT味を~する。ヒトで言えばパスポートはダイレクトマーキングではない。DNAこそがダイレクトマーキングといえる。

半導のIDをパッケージに刻印するのはダイレクトマーキングではない。半導チップに直にマーキングしなくてはT味がない。

この発[が我々の動の原点になった。歴史的にはSEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)にPいてT7とS称するウェーハIDに関する仕様書を先輩達が△靴討い拭これは材料メーカーがデバイスメーカーに納入する300mmサイズのウェーハの裏Cにレーザーで書き込むIDであって、それは材料メーカーを識別しw~の英数Cを使ってID化されていて、IDを読めばそのウェーハの履歴がて解る仕組みになっている。T7を配するそのオーナーが材料ウェーハメーカーであるのは当のことである。

裏CにマークされたT7のIDは、しかしながらバックグラインド(裏C研磨)工で消えてしまう。バックグラインド工は通常は省Sできない。

T7がバックグラインドで消えるとID情報が絶えてしまう。そこで情報をつなぐためにファブ専で使うウェーハIDが要になった。これを我々のチームがマイクロIDの愛称を使いSEMIの組E内で委^会を立ち屬欧拭マイクロIDは、瑤蕕譴討いIDでは世ck小さなIDであって2次元データマトリックスがほぼ100μm角に収まる。これがQウェーハのベベルに刻印される。

委^会のコ・チェアマンは、筆vの他に森彰と中隆二であり、作られたY仕様はSEMIがT14と命@した。崕劼涙k気通椐桐の考え(sh┫)はこの委^達が作り屬欧拭

T14のオーナーはデバイスメーカーに他ならない。デバイスメーカーはT14にT7の情報を含ませるのが好ましい。さもないと、k気通性は失われる。

さて、半導集積v路の長い工を考えるとここでストップするlにはいかない。ファブを出た完成ウェーハは個別チップに切り`されてしまう。この瞬間にベベルに刻印されたT14は消えてしまう。このためウェーハXにある工のどこかでチップに個別IDをメーカーが刻印する要がある。

作業は、未だ仕様作成の中段階であり、T14のようなT-番(gu┤)はSEMIにはまだT在しないが仮にTXXとしよう。

TXXのオーナーは、当デバイスメーカーになる。TXXのオーナーであるデバイスメーカーは、これまで述べてきた情と同様、TXXにT14の情報を含ませるのが好ましい。TXXは今Qのには陽の`を見るはずだ。

TXXが陽の`を見ることによる効果はj(lu┛)きく、x場で故障した半導の故障モードと]データが11でTびつく。このことが日本半導の信頼性向屬帽弩イ垢訶拗腓い麓り瑤譴覆い曚表j(lu┛)きい。

エイデム 代表D締役 j(lu┛)和田 敦之
ごT見・ご感[
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