著�v：AEC/APC Symposium Japan　�i川耕司

今�vは、�盜馮焼���プロセスコントロールに関する議�bを深めてきたオピニオンリーダーたちの見解を紹介したい。ロードマップという形を通じて、DX�\術を使ったスマートファブ化の今後の進�tをどのように捉えているのか、何が��要とされてくるのかが見えてくると思う。さらに、情報のセキュリティに関する議�bや、IT/OT間の�a度差など、�T見の�k致を見ないケースも見えてくる。�H様性を��徴とする、�盜颪蕕靴����Cである。

3-5. �\術的ロードマップ--- オピニオンリーダー達の見解

James Moyne�F士は、IMA-APC委�^会の主要メンバーの�k人である。同��は、AMAT社とMichigan Universityの両�気棒劼���く。�盜颪離泪ぅ�ロエレクトロニクス�cにおける先端プロセスコントロールの�\術的牽引�vの�k人である。彼は、2つのスピーチを行っている。　

�kつ�`は、キーノートスピーチとして、”The International Roadmap for Device and System (IRDS) Factory Integration Roadmap for Smart Manufacturing” である。これは、Co-chairのJames Moyne�F士 (AMAT, University of Michigan, Mechanical Engineering)、もう�k人のCo-chairである真白すぴか��（TEL）、委�^のTerry Cox��（Boothtrap Ltd.）委�^のErik Collart ��（Edward Vacuum）により策定されたIEEEとしてのスピーチであった。

二つ�`は、クロージングスピーチとして、”Bringing Subject Matter Expertise and Analytics Together in Solutions for Microelectronics Smart Manufacturing: Consensus, Domains, and Approaches”である。AMAT 社としての立場の見解で、半導�����]のSM（Smart Manufacturing）化へのロードマップの�_要点を提��している。

最初のキーノートスピーチを紹介しよう。図3-20は、今日のSM (Smart Manufacturing)の礎となる、�Q要素�\術の2013�Q頃からの発�tを�~��に書き著している。半導���\術の世�cは、情報のグローバル化が�j変進んでいる。日本の読�vに��かれても、違和感のない内容と思う。

図3-20　 SM 化への�Oのり　出�Z：The International Roadmap for Device and System (IRDS) Factory Integration Roadmap for Smart Manufacturing”, Dr.James Moyne (AMAT, University of Michigan, Mechanical Engineering), Supika Mashiro (TEL), Terry Cox (Boothtrap Ltd.), Erik Collart �� (Edwards Vacuum)

これを踏まえ、SM（Smart Manufacturing）化へのキーポイントを�Wいたものが図3-21である。3点をキーポイントとして��している。すなわち、

1. ファブ����およびサプライチェーンに渡るデータの共�~化　
2. 情報のセキュリティ
3. SME（Subject-Matter-Expertise）

最後のSMEについては、日本語を思いつかない。あえて翻�lすると、専門��識集約型�\術集団とでもいうところかと思う。最後の�k行、“No knowledge left behind”が印��深い。高度な��識の�k片でも�Dりこぼしたくないとの思いが伝わる。この�Pは、2017�Q頃にはすでに議�bが始まっており、2018�QからIRDSの��式議��として、議�bが��いている。

図3-21　SM 化への�Oのりのキーポイント　出�Z：The International Roadmap for Device and System (IRDS) Factory Integration Roadmap for Smart Manufacturing”, Dr.James Moyne (AMAT, University of Michigan, Mechanical Engineering), Supika Mashiro (TEL), Terry Cox (Boothtrap Ltd.), Erik Collart �� (Edwards Vacuum)

次に、Moyne�F士のクロージングスピーチであるSM化への�Oのりの�_要点は何であったか。�F士は、半導�����]のSM化へのロードマップの�_要点として2項�`を提案している。

•マイクロエレクトロニクス�噞として、SMEの役割の認識
•AI/MLの現在のオフライン的使い�気�らオンライン的な使い�気悗涼θ�

�kつ�`は、マイクロエレクトロニクス�噞として、今後ますます�\えてくるSMEの役割の�_要性の認識とその育成である（図3-22）。

図3-22　SMEへの期待　出�Z：The International Roadmap for Device and System (IRDS) Factory Integration Roadmap for Smart Manufacturing”, Dr.James Moyne (AMAT, University of Michigan, Mechanical Engineering), Supika Mashiro (TEL), Terry Cox (Boothtrap Ltd.), Erik Collart �� (Edwards Vacuum)

SMEの育成について思い出すのは、NXP社のS.Frezon��との会�Bである。彼もSMEの育成を語っていたが、NXP社内�陲任凌雄牋蘋�に�_点を��いている。Moyne�F士とこの点を、閉会後に会�Bする機会があった。�Bをしていくうち、�F士の関心は、�j学教育課��の変化の�気砲△襪海箸鰺�解した。�F士の予�Rとして、マイクロエレクトロニクス関連の企業で、解析���CのSMEを�`指すためには、�j学院�T士の教育レベルが��須となると述べていた。マイクロエレクトロニクス�噞に関わる�\術集団は、ますますエリート化していくのだろうか？

もう�k項�`は、AI/MLの現在のオフライン的使い�気�らオンライン的な使い�気悗涼θ蕕任△襦平�3-23）。

図3-23　AIのオンライン的使い�機―儘Z：Bringing Subject Matter Expertise and Analytics Together in Solutions for Microelectronics Smart Manufacturing: Consensus, Domains, and Approaches、Dr.James Moyne, AMAT

図3-23に��すように、現在のAI/MLの使い�気蓮▲�フラインとも�}べるものである。個々の予�R����につき、保�Tされたデータ（historical data）から、別々の予�Rモデルを作成して予�Rを行う。しかしながら、�����X��は刻々と変化していく。予�Rモデルは、�����X��の変化を�{跡して、予�Rモデルを新しい�����X��に合うように、変化させなければならない。いわゆる、予�Rモデルのメインテナンスが��要とされる。ここに、再びSMEが登場するわけだ。

その�屬如�����データをリアルタイムで�Dり込み、適時��新される予�Rモデルからの情報でリアルタイムのGo/No go 判定や、リアルタイムでの�����X況のレポートをファブ����で共�~するという、いわゆるオンラインの構�[である。

������性、プロセスに�瓦垢���識、さらに先端ITについての��識等々、��てのものを�k人で�Dり扱えるスーパーマンなどいないであろう。�\術集団として�Dり組んでいく課��と思われる。これは、Fab Operation Strategyそのものである。

おそらく、このSMEの�eこそが、APCの�Z未来の�\術的ゴールとなるのではなかろうかと心中思いながら、講演を拝聴していた。図3-24は、�F士のクロージングスピーチの最後のページに��された、メッセージである。

図3-24　メッセージ、SMへの�Oのり　出�Z：Bringing Subject Matter Expertise and Analytics Together in Solutions for Microelectronics Smart Manufacturing: Consensus, Domains, and Approaches、Dr. James Moyne, AMAT

閉会後に開かれたAPC Council会議では、やはり、SMEが議�bされている。��2�陲膿┐譴�IoMと同じような�菘世任料T見を聞いた。すなわち、予�Rモデルを作成する�筺�IT�筺砲箸修譴鯣���材料として、実行する�筺�OT�筺砲箸隆屬旅造箸發いΔ戮��a度差である。やはり、議�bに�T�bは出ていない。「人」に関わる命��は、人類が��く限り�P遠の課��のようだ。

APC Council会議では、エッジ-クラウドコンピューティングが議�bされている。調�hの�T果、半導�����]では、リモートでのエッジ-クラウドコンピューティングの�j��模な使��は行われていない。同じファブ内�陲任諒��g - セントリックという�T味でのエッジ-クラウドコンピューティング（プライベートクラウド）ばかりである。

��2��IoMで触れたようなIIoTの世�cにおける、リモートでのエッジ-クラウドコンピューティングを�W��した、データ解析サービスという形��は、半導���i工��では現在のところ見ることがない。根�fにあるのは、リモートアクセスに�瓦垢襦▲如璽織札�ュリティへの懸念である。筆�vの経�xからも、半導��デバイス���]に関わる人たちの、リモートアクセスへの懸念は、深いものがある。いかに、リモートアクセスを�W��したクラウドサービスの�気�経済的であることを考慮しても、半導��デバイスメーカーは�垉遒砲△泙蠅俣Hくの���Pを経�xしているため、この懸念を拭い去れない。この�Pは、�T�bが出ず、ひき��きの議�bのテーマとなった。

このまま、高いコストを�Uんでもリモートアクセスを行わないのか。それとも、セキュリティを確保した�屬任痢▲螢癲璽肇▲�セスに踏み切るのか、または異なる�桔，�あるのか。　未だ、議�bは��いていく。

委�^会のPresidentである、John Pace��には、わざわざ食��までお��き合いをいただいた。彼は、�L��の経�xがある。飛行機の、�豢�母��への発����の�Bは、リアルであった。Bradley Van Eck�F士, James Moyne�F士ともども、実��的な�Bを含め、懇�Tなご指導をいただいた。AEC/APC Japanとの関わりについても、関心を��していた。

DX (Digital transformation) を先�Dりしてきた感のあるCMOS�\術をベースとする半導���噞にとって、スマートファブ化への�Oのりは、すでにカウントダウンのフェーズに入っている。5�Q�iと異なり、スマートファブの形は、誰の�`にも見えてきている。

今後も、微細化、�H層化を�{い求める新鋭半導��ファブには、スマート化への先端的ソリューションが使われていくだろう。この分野では、��来と同様、新しい性�Δ魴eった商��が現れ、早期の歩�里泙衫�ち�屬欧魎陲砲靴織咼献優垢���いていくのだろう。微細化を�{わないファブでは、NXP社の例のように、スマート化によって����を突き詰め、商��の信頼性を基にしたビジネスを�t開していくことは、�科�に予�[される。

いずれの�Oにせよ、ビジネスに直�Tする形でDX�\術を使いこなす。言い�気鯤僂┐譴弌�DX�\術を�W��してヒット商��を作り、新たなるビジネスの�Oを開��できるかどうかが、個々の企業の運命を��めていくのではなかろうかと考える。

3-6. DXの旅の終わりと未来への�`

ワシントンDC、テキサス�Ε瀬薀鋼x、テキサス�Ε汽鵐▲鵐肇縫��xと��いて来た、�Mの2019�QDXの旅も、これで最終である。DX�\術によるスマート化の�Xけ�mをいたるところに聞いた。COVID-19のインパクトは今後どのように現れてくるのだろうか。確信するのは、好むと好まざるとにかかわらず、DX�\術による変化は、社会の至るところに現れてきているという点だ。

顕著な変化は数�Q�iにすでに始まっており、今、�Mたちが�`にするのは、��こった変化のうち表�Cに現れて来ている�霾�だけである。変化の�j�霾�は深く��かに、しかし思ったより早く進んでいるし、今後も進んでいく。日本でも、変化を創出しようと奔走されて来た代々のAEC/APC Japan委�^、ISSMの�機垢療慘�が実を�Tんでいくのは間違いない。後世、DX�\術が、�\術史にその�@を残すことになれば、この人たちの奔走もその行間に込められるであろう。

�j変興味深い点の�kつは、�盜����]業における「ヒト」に�瓦垢��咾ご愎瓦任△襦�APC、IoM、DC5Gとどこでも、「ヒト」に関する発言を聞く。��に、�峙薀泪諭璽献磧爾砲覆襪曚鼻⊃佑鼎�りへの関心が高い。誤解を恐れず、あえて類型的な言��使いを��していただこう。「カネ」と「モノ」は投�@家や���E家の間を奔走すればなんとかなる。しかし「ヒト」は、じっくり時間をかけて育て�屬欧覆韻譴个覆蕕覆ぁ�先端�\術分野において、「ヒト」の果たす役割は極めて�jきい。そして、「ヒト」を育てるのも、また「ヒト」である。�k連のカンファレンスで、「�颪弔�りは人つくり」というべきメッセージを発した人は、�Hかった。

���k�陲茲褪�くこの�餮譴涼罎如▲謄�ノクラートという古い言��をあえて使ってきた。先端�\術分野で、「人」を育てるのは、テクノクラートにしかできない使命の�kつだ。�盜餤腸駟鷙霆颪砲發△襪茲Δ法∪菽雫\術開発�ξ�が、国��を��めてくるという考え�気蓮� 先端�\術を経�xした人であれば、うなずけるであろう。先端�\術企業であろうとすれば、そこで働く�H数のテクノクラートの�\術革新への考え�機��\術革新のビジネスへの�t開の�e勢が、個々の企業の運命を��めてきている例を�H々�`撃する。さらに踏み込んで言えば、先端�\術立国であらんとすれば、テクノクラート集団の�\術革新への積極的な考え�機�革新�\術のビジネスへの�t開の積極的な�Dり組み�気�、�k国の��来を左��するのかもしれない。
負け組かと思っていた�盜����]業の、土俵際での�T外な�lり��を�`にする。

DXの旅の中で会�Bしたテクノクラートたちが、異口同音に発した言��を思い出す。「変化は、�O分と関係なく��ずやってくる。しかし、変化を�科�理解し先�Dりしていく限り恐ろしいものではない。変化を乗り切らせるものは、�O己への信頼だ」。