図1　��南�xにあるTSMCの�J�T工場

TSMCが��湾の南�陝���南�xにギガファブと�}ぶ巨�jなプロセス工場の建設に���}、このほど��工式を行った。このギガファブFab 14フェーズ5はプロセスノード20nmのウェーハプロセス工場になる予定で、TSMCとしては新�腓�Fab 12フェーズ6に��く2番�`の20nmプロセス工場となる。最初に建設した新�腓�Fab 12は20nmプロセスを来�Q量���n働させる��画だ。

今�vのFab 14フェーズ5における20nmプロセスでは、量�凮始時期を2014�Qはじめに予定している。Fab 14工場の��模は、フェーズ5に��くフェーズ6の工場と合わせ、そのクリーンルームの���C積が8万7000平��(sh┫)メートルになる。これはサッカー場11個分に相当し、�Y��的な300mmウェーハ工場の4倍以�屬砲覆襪箸靴討い襦�TSMCは微細化を推進することでグローバルな��争��を�咾瓩茲Δ箸靴討い襦�

現在のFab 14の300mm工場(図1)はフェーズ1から4まで�n働しており、その�攵��ξ�は300mmウェーハ55万��/四半期である。今�vと次�vのフェーズ5と6を合わせた��模は、フェーズ1~4の合��と同等だという。ちなみにFab 14のフェーズ1~4が�攵�する�攵��Yは�Q間60億ドルで、新工場も同等な�攵��Yを見込んでいる。

同社会長兼CEOのMorris Chang��は、「TSMCは��湾に投�@を��け、�\術のリーダーシップと���]経�x、顧客の信頼、といったTSMCの�咾澆鬚気蕕��咾瓩討い�」と語った。同��は、TSMCの地位を確�wたるものにすることで、世�cの半導���噞の中で��湾が不可�Lな�T在にさせていく、と考えている。このFab 14フェーズ5は「今後も先端�\術はTSMCにお任せください」というメッセージである。

�k��(sh┫)、TSMCの28nmラインは3月いっぱい停�Vしていた。28nmプロセスを�W(w┌ng)��するスマートフォンやタブレット向けのモバイルプロセッサSnapdragonを設��しているクアルコムや、Tegra-3を設��しているnVidia、さらにはパソコン向けグラフィックプロセッサRadeon HD 7000Mを設��しているAMDが、TSMCへ28nmの�攵��ξ�不�Bを解消するように求めていたようだ。AMDは、同社から���]�靆腓鬟好團鵐�フさせたGlobalFoundriesとの�@本関係をこの3月はじめに解消し、28nmにはTSMCを使うことになっていた。それまでAMDはGFの株式の14%を保�~していた。

インテルは3社�`の顧客を�耀u
インテルはファウンドリビジネスに��を入れることを��式には表��していないが、FPGAの新興ファブレスであるTabulaがインテルの22nm FINFET（3Dトライゲートとも言う）プロセス工場をファウンドリとして使うことを表��している(参考�@料1)。さらにもう2社FPGAのAchronix社と、ネットワークプロセッサのベンチャー企業のNetronome社（参考�@料2）もインテルに���]を依頼することを発表した（参考�@料3）。

図2　インテルの22nmFINFETプロセス　フィンの数を�\やすことで電流�~動��を�\加できる　出�Z：Intel

Netronome社はもともとインテルのネットワークプロセッサIXP28xxシリーズのライセンスを�pけ��業化した。10Gビット/秒以�屬離魯ぅ┘鵐氷��]ネットワーク��のプロセッサを開発、現在は65nmノードのプロセッサをTSMCで量��しているが、次世代は45nmや28nmを経ずにいきなり22nmのFINFETプロセスで���]することを��めた。

インテルの22nm FINFETプロセスは、インテル�O身、モバイルプロセッサのIvy Bridgeに使う予定だ。Achronix社の見積もりによると、同社のFPGAにこのプロセスを使うと、28nmのCMOSプロセスと比べ、性�Δ�300%�屬�り、消�J電��は半��、コストも40%削��されるという。

参考�@料：
1. インテルの22nmFINFETプロセスをファウンドリとして使うTabula社 (2012/03/01)
2. �盜颯戰鵐船磧�Netronomeが��ハイエンドなネットワークフロープロセッサを設�� (2009/06/12)
3. Netronomeのプレスリリース (2012/04/04)