半導��メーカーの工場ではEUVを使ったチップ���]の���△鬚靴討�り、4週間で1万5000��以�屬鯱�光した。また可��性(アベイラビリティ)は4週間平均で70%以�屬鮹�成し、4週間で80%を達成した時もあったという。可��性は、����を�n働できる時間（実際の業��期間）の間に実際に�n働した時間の割合を表す。�Q平均だともっと低いという。

2016�Qの�`�Yは、�攵掚が1500��/日以�屬如�可��性が4週間平均80%以�屐�NXE����の出荷��数6〜7��（NEX:3300とNXE:3350、NXE:3400）となっている。

図1　ASMLで2015�Q後半に売れた����　出�Z：ASML

ASMLは最先端のEUV����ではなく、光の露光����が主������である。ArF�]浸����とKrF����がよく売れている(図1)。2015�Qに次世代�]浸����TWINSCAN NXT:1980の立ち�屬欧棒�功、この����を7��出荷した。

ASMLの業績も発表され、好調さを表している(図2)。これによると2015�Qの売り�屬欧��垉邵嚢發�62億8700万ユーロ、営業�W益15億6500万ユーロ、純�W益13億8700万ユーロであった。さすがに��4四半期の売�幢Yは、�i月比、�i�Q同月比よりも下がったが、2015�Qは��1四半期に16億5000万ユーロと、�jきく�Pばしたことが奏功した。

図2　�垉邵嚢發稜笋��屬欧鮹�成したASML　出�Z：ASML

2016�Qの��1四半期の見込みも発表している。売り�屬欧�13億ユーロ、���W益率42%（2015�Q����は46.1%）、研�|開発コストが2億7500万ユーロ、SG&Aコスト(販管�J)9000万ユーロ、その他収入(カスタマ共同投�@��画)が2300万ユーロとなっている。ロジックのカスタマ(ファウンドリやIntel)には、10nmプロセス����の立ち�屬�りを期待しており、��2四半期から始まる見込みだ。そうなると売り�屬欧蓮���1四半期よりも��2四半期の�気能jきく�\加することになる。

図3　これから��要となる����の�p�R残　ArF�]浸とEUVが�Pびる　出�Z：ASML

2016�Qはさらに期待できそうだ。�p�R�X況は2015�Q��3四半期に新����32��が��4四半期に39��に�\え、中古も��3四半期の3��から��4四半期に5��へと�\加している。新���p�Rだけではなく�p�R残も�\えている。2015�Q��3四半期には新��61��、28億3500万ユーロだが、��4四半期には同68��、31億4900万ユーロに�\えている(図3)。それもArF�]浸、EUV、KrFの順に�Hい。