Intel、7nmプロセスの工場を建設、EUVリソが本格化
Intelは、櫂▲螢哨Ε船礇鵐疋蕕7nmプロセスの量妌場Fab42を建設すると発表した。投@金Yは70億ドル(約8000億)。工場の完成は3〜4Q後になる見込み。ここで3000人の雇を擇澆世垢箸靴討い襦

図1 Intelが7nm工場の建設を予定しているアリゾナΕ船礇鵐疋藕場 出Z:Intel
この発表は、トランプj統襪IntelのCEOのKrzanichが共同で行ったもの。アメリカに雇を擇濬个垢箸いΕ肇薀鵐彌j統襪疑砲凡pった。というのは、これまでになく、`Yが雇確保のためを喞瓦靴討り、工場建設完了予定が3〜4Q先というあいまいな設定だけに、E的なにおいを感じるからだ。長期的にこの工場には1万人が新に採されるとしている
Krzanichは電子メールで業^に次のように説している。「今後もムーアの法Г鰊Mし、そのペースにpって攵ξ拡jと研|開発のために投@をける。この工場によって、アメリカの地位が世cのトップを維eしけることになるだろう」。
かといって、Krzanichはトランプj統襪鱠C的にХeしているわけではない。そのことを確にするため、わざわざ次のような当たりiのコメントも業^に伝えている。「Intelはグローバルな\術メーカーであり、当社をアメリカのイノベーション企業だと思う。アメリカには独で優秀な人たちが集まっており、ビジネス環境は性化していてグローバルx場へのアクセスも良い。このため、Intelのような盜餞覿箸経済成長とイノベーションを加]している。当社の工場は高い賃金と高い]\術をeつ人たちをサポートし、盜餬从僂離┘鵐献鵑箸覆辰討い襦廖
確かにIntelは2015Qに51億ドルの設投@を行った、最jのハイテク設投@企業である。研|開発投@でも盜颪3位の121億ドル(2015Q)をつぎ込んでいる。
7nmプロセスではEUVリソグラフィが使われるという見気もっぱらであり、IntelもEUVユーザーの1社である。EUVリソグラフィを]・提供している唯kの企業であるASMLのQ報告(参考@料1)から、その現Xを読みDることができる。この@料は、2016Qの成果を報告している。まず、攵ξ(スループット)の`Y値をクリアした。最新鋭機のNXE:3350Bをある顧客の工場でとったデータとして、3日間n働した時の1日当たりの平均ウェーハ処理数は1500、と`Yの1500/日を達成した。また、2のNXE:3300Bを4週間n働させた場合のアベイラビリティ(実効的にn働している時間)は最高90%、平均80%、と`Yの80%をクリアしている。
ただし、EUVの出荷数は`Yの6〜7を下vり、4にとどまった。このT果、現在のpR残は18、約20億ユーロ分になった。ちなみにEUV機1の価格がこのレポートから見積もることができる。図2に4四半期のの売り屬欧覆匹鮨しているが、この四半期売り屬12億2300万ユーロに瓦靴董EUVは1販売し、その売り屬欧12%となっている。すなわち1億4676万ユーロ、すなわち約176億になる。
図2 ASMLの2016Q4四半期から見積もったEUV1の価格 出Z:ASML
また直Zの2016Q4四半期には6のNXE:3400をpRした。2017Qの1四半期はさらにHいpRを見込んでいる。このことは、最ZになってEUVリソがようやく本格的に立ち屬ってきているというT味である。だからIntelは7nm工場建設に踏み切ると判したと同時に、これをj々的に発表するためj統襪砲皺鍛瓦気擦燭箸い┐襪世蹐Α
参考@料
1. ASML reports record 2016 net sales and net income (2017/01/18)