営業�W益率も好調で27.3%と�i�Q同期よりも6.2%ポイント�\えた。��売り�屬欧瞭癲�半導�����]����の売り�屬欧�����の68%とやはり�jきいが、スペアパーツや保守点検サービス,200mmウェーハ����などのサービス�靆隋�AGS）も21%と比較的�jきく、ディスプレイや周辺����などの�x場は11%にとどまる。

図1　アプライド マテリアルズ ジャパン代表�D締役社長の中�_均��

同社日本法人アプライド マテリアルズ ジャパンの代表�D締役社長は2017�Q1月に��任した中�_均��(図1)。同��は、�x場の見通しを1990�Q代から2010�Qまでの「PC+インターネット時代」から2020�Qくらいまでの「モバイル＋ソーシャルメディア時代」を経て、2020�Q以�Tの「AI（人工���Α法椒咼献絅▲襯灰鵐團紂璽謄�ング時代」を迎えると定�Iした。PC+インターネット時代は、�i工��の�����x場は255億ドルであったが、そのバラつき「シグマ」は、80億ドルもあったとした。それ以�T、すなわちリーマンショック後のモバイル＋ソーシャルメディア時代は、売り�屬�324億ドルに�瓦靴謄丱蕕弔�が30億ドルに下がっている。これからのAI＋ビジュアルコンピューティング時代には売り�屬欧呂發辰隼\えながらバラつきが30億ドルよりも小さくなるとみる。すなわち半導�����]����ビジネスは�W定成長の時代に入る。

当��ながら、半導��は今、好況期である。アプライドのライバルであり、かつて合��作業を進めていた東�Bエレクトロンも絶好調で、2017�Q度の��1四半期(4~6月)の売り�屬欧��i�Q同期比60%�\の2363億��、営業�W益は同148%�\547億��となった。営業�W益率は同8.3%ポイント�\の23.2%となっている。

図2　ウェーハ�i工������の内、メモリ向けが毎�Q�\えている

���]����の今の好調をけん引するのはやはりメモリで、例えば2012�Qごろの�i工������は303億ドルの内NAND向けが9%、DRAM向けは14%しかなかった。図2のように2017�Qは、NAND向けが30~35%、DRAM向けが15~20%という構成になるとみている。IoT時代にクラウドへ蓄積するメモリは不ｧ発性が求められるため、NANDフラッシュの��要はまだ�fが見えない。中�_��は、DRAM向けはまだ直線的な�Pびを��すが、NANDフラッシュ向けは指数関数的な�Pびを��しているという。

NANDフラッシュはこれまでのプレーナから3次元（3D）化へと進んでいる。1チップ内に32層、48層、64層などセルを�eに積んでいく構�]のメモリでは、最下層から最�崛悗泙任凌爾ぅ┘奪船鵐阿氾填砲鮴橙�するピラーが��要になる(図3)。そのためのエッチング����とCVD����は新開発になる。

図3　3D-NANDフラッシュは深い最下層から表�Cまで電極を�Dり出す��要がある

3D-NANDフラッシュの�H層構�]の構成�\術には、単純に�_ねるモアペア（More Pairs）法、いくつかの層をまとめて�_ね合わせるマルチティア（Multi-tiers）法、�e�妓�スケーリング、横�妓�スケーリングなどの�桔，�ある。どの�桔，任眥_ねてから電極を�Dり出すための階段�Xのスティアケースを作り、さらに�貭召凡k気に穴を開けて、導��を�mめ込む。こういった�k連のプロセスは均�k性、すなわちウェーハ内のバラつきやウェーハ間のバラつきを��らすことが歩�里泙蠅��屬欧襪Δ┐悩罵ダ茲箸覆襦�

アプライドの中�_��は、そのために2015�Qに発売したエッチング����「Centris Sym3」がカギとなると言う。この����はCD（クリティカルディメンション）の均�k性が0.5nm以下という優れモノ。�����@のSymはシンメトリック(�款寮�)の�Sで、��来の����だとバラつき「シグマ」が1.2%だったが、Sym3は0.2%と�jきく��少した。����内のガスの流れ、ポンプの位��、�X流をすべて�款里砲靴燭海箸如△修譴召譴離丱蕕弔�を��らした。プラズマを発�擇気擦�RFマッチング�v路とは別に�O己バイアスでコンデンサをマイナスに充電してプラスイオンを引き込むためのRFマッチング�v路を新��に開発した。

この����の基本構成は8チャンバ（6��のエッチャー＋2��の���`��）で、発売以来����は�\え��け、チャンバ数で表すと2017�Qには4桁のチャンバ数が売れると見込んでいる。また、AMATとして��式な見通しの数�Cは発表しないが、次の四半期は元々�Pびるという���I要因を含むが、個人的には40億ドルには到達するだろうと中�_��は見ている。2018�Qには中国の投�@が�jきくなり、���]����のビジネスチャンスは広がっている。