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Maxim、90nmプロセスプラットフォームを構築、]拠点をH数eつ

アナログとデジタル混載半導のMaxim Integratedが90nmデザインルールを基とするプロセスのプラットフォーム戦Sを採ることを発表した。kつのプラットフォームでロジックからメモリ、高耐圧、アナログへと官する。x場によってデバイスを{加する。ヘルスケア・噞向けには36V耐圧のP90D、O動Z向けには80V耐圧のP90Uなどと使い分ける。

図1 Maxim IntegratedのO動Z業靆臙甘のバイスプレジデントでジェネラルマネージャーのRandall Wollschlager()と、\術・]グループ統括でバイスプレジデントのVivek Jain(左)

図1 Maxim IntegratedのO動Z業靆臙甘のバイスプレジデントでジェネラルマネージャーのRandall Wollschlager()と、\術・]グループ統括でバイスプレジデントのVivek Jain(左)


これまで、アナログ半導はカスタム化の向が咾、プラットフォーム化はMしかった。ロジックが最小∨7nmまで微細化しているのに、アナログでは90nmや180nmまでしか微細化できていなかったからである。ここにきてカーエレクトロニクスの頭によって、パワーマネジメント分野は最小∨,Zづいてきた。Maximはもともと、パワーマネジメントIC(PMIC)と高]データ転送(SerDes)に咾ぅ潺ストシグナル半導メーカーである。クルマのカーエレクトロニクスが複雑になり、データセンターの電源のようにZいてきたため、効率のもっと高いチップが求められるようになってきた、と同社O動Z業靆臙甘のバイスプレジデントでジェネラルマネージャーのRandall Wollschlager (図1) は語る。このため、パワーICでは90nmプロセスが最も効率が高くなったという。

例えば、O動Zのフロントライトは、欧Δ任歪名鎹薪召妊魯ぅ咫璽爐鮖箸ぁ憾Zが来る時だけロービームに切りえることがHかった。このため、光センサで憾Zを検出するとO動的にロービームに切りえるようになったが、それもk時的だった。今では、CMOSイメージセンサのカメラで憾Zや人を見つけると、ドライバーや人の霾だけロービームに落とす、というビームステアリングが可Δ砲覆辰討た。この場合、瞬時にライトを落とさなければならないため、高]シリアル通信インターフェースのGMSL(Gigabit Multimedia Serial Link)でカメラ画気鯀り、その画気冒蠹するマトリックスXのLEDビームだけをO動的にローにする。LEDドライバやGSMLチップなどを}XけているMaximにはuTな分野である。

O動Z半導では、これまで28社のOEM(O動Zメーカー)、70Z|に採され、バッテリマネジメントICは4500万個販売されてきた。クルマではてのECUにはPMICが要であり(図2)、使電圧も12V、65Vなどさまざまある。クルマでは例えば真冬の寒い時期に12Vのバッテリでエンジンを始動させると、ECU電圧の5Vにも満たない4.5Vまで下がると、ECUが動作しなくなり、クルマは動かない。このためDC-DCコンバータではブースト(圧)とバック(T圧)の両気離灰鵐弌璽燭要となるが、Maximはコスト的に高くなるため、2Vまで下がってもj丈夫な構成にしているという。


図2 クルマのECUの数だけPMICは要 出Z:Maxim Integrated

図2 クルマのECUの数だけPMICは要 出Z:Maxim Integrated


アナログパワーマネージメントプロセスの90nm化は、古いプロセスの450nmや180nmと比べると、チップC積の少は著しい。加えて、O動Z向けLED照ではこれまでのディスクリートのパワー半導やゲートドライバと比べると、500nmのSP50プロセスでさえ、ボードC積は47%、点数も40%にそれぞれ少した。ディスクリートだと、マイコン、ゲートドライバ、パワーMOSFETなどから構成されていたのを1チップ化したためだ。この場合のSP50もP90をプラットフォームとしたものだという。

プロセスのプラットフォーム化は、O社、ファウンドリ両気鮖箸┐襯札ンドソースも兼ねることができる。要がに高まった場合にはファウンドリを{加しなければならないが、P90は日本の富士通セミコンダクタの_工場だけではなく、湾UMCでも同じプロセスで]できる。まさにコピーエグザクトリ(Copy Exactly)戦Sである(図3)。地震や洪水などOu害が発擇靴胴場ラインがVまってしてももうkつのラインをn働させることができる。


Continuity of Supply ~ Dual Source Including P90

図3 同じP90プロセスをUMC(Fab102)と富士通セミコンダクタの_(Fab103)に/◆”堽瀕┐呂曚箸鵑品僂錣蕕覆ぁ―儘Z:Maxim Integrated


Maximは、元々IDM(貭湘合メーカー)であり、2007QにはO社工場での攵がの95%をめていた。2012Qには55%に落とし、2018Qには17%しかなくなった。つまり、O社工場への設投@を抑え、ファウンドリを使う妓に変えた。日本でも2006Qにはエプソンをファウンドリパートナーとしていた。そして、今v、富士通の_工場もファウンドリパートナーに加えた。90nmプロセスをeっているからだ。ただ、富士通の_では2017Q12月に最初のサンプルを出荷し、18ヵ月後の最Zになって量僝できるようになった。

P90のプロセスプラットフォームは、Maximの櫂レゴン工場で開発し、それをグローバルにt開する(図4)。これまで400nmプロセスのS4や、180nmプロセスのS18は世cのファウンドリパートナーにそれぞれ2工場、4工場に‥召靴討い襦パートナーとなっているファウンドリは、盜颯謄サスΔTowerJazz、湾のPowerchip、そして日本の2社とUMCである。TSMCは独Oに開発したプロセスプラットフォームPDKがあり、MaximのプロセスではないためTSMCをファウンドリではなく、マーチャントパートナーと}んでいる。


Flexible Manufacturing with Geodiversity

図4 世cにH数のファブをeち実的なセカンドソースになる 出Z:Maxim Integrated


MaximはZ載半導にを入れているため、O動Zを{求しており、これまでのppm(part per million)レベルから、不良混入が10億分のkをすppb(part per billion)レベルへと不良率は毎Q下げている。2019Qに初めてppmを割り、ppbとなった。同社は、ZD(Zero Defect)運動を推進しており、常にゼロを`指す、とVivek Jainは語る。

(2019/07/23)
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