Infineonの2番�`の300mmウェーハ工場がオーストリアに完成
ドイツInfineon Technologiesがオーストリアのフィラハに建設していた300mm完���O動化の新工場を�n働させた（図1）。9月17日（同日日本時間20時30分）にオープニングセレモニーを開��、セレモニーの最後に、クリーンルームから完成ウェーハを�eち出して�~け��けるというデモまで披露した（参考�@料1）。300mmの薄いウェーハを�攵�するが、2022〜23�QのEVや再�擴��Ε┘優襯�ー��要拡�jを予�[して建設した。
図1 Infineonのオーストリアフィラハ工場 奥に見えるのが新300mmライン 出�Z：Infineon Technologies
Infineonは、予定よりも3ヵ月�i倒しで工場を完成させた。新工場は�W井にウェーハトラックを配�△靴心井��O動化工場としている。しかも�攵妌��の�O動化をAIで�мqしており、CO2を出さない工場でもあるという。この工場は人間の髪の毛（通常は70〜100µm）よりも薄い300mmウェーハ（厚さ40µm）をプロセス処理する工場であることを何度も�喞瓦靴討�り、その�`的はパワー半導��の量��である。��にIGBTはクルマやエネルギーなどモーターを�~動するデバイスだ。
これに関して同社CEOのReinhard Ploss��は、「Infineonはモビリティ（�O動�Zや電�Z、�豢�機などの輸送�}段）やエネルギー効率を�屬欧襪燭瓩糧焼���で成長してきた。これまで経営�e機があったが長期的な��点で投�@してきた。新工場で何を作るかは、����と応��で��まる。EVやソーラー、風��など高電圧で少ないロスが求められる分野、デジタル化とそのための電源に向けた応��、さらに地球�a暖化という�jきなロスにも挑戦している。300mmの薄いウェーハは成長を��けるためのカギとなる」と述べている。
欧�Δ波焼���の新工場を設立したことはEU（European Union：欧�ο�合）も�j��迎している。EUは、2030�Qに現在の半導��のシェア10%を20%に引き�屬欧襪箸いχ`�Yを�eっているからだ。EUコミッショナーのThierry Breton��はビデオ出演して「半導��は��ての�噞で�Lかせない�_要な����となっている。クルマや�豢�機、スマートフォン、パソコンなどあらゆるものに�Lかせない。しかし、今は半導��不�Bだ。�噞だけではなく社会的にも半導��はとても�_要だが、今はまだ供給が�{い��いていない。EUはこの新工場を�咾���迎する」と述べている。そして、「フィラハの新工場は欧�Δ量鄂瓦修里發里任△蝓�半導���噞における欧�Δ離�ャッチアップが始まった」と表現している。
300mmの薄いウェーハはポテトチップのように曲がってしまい、�}で�eつことはできないため、ウェーハを�Хeする透��なパッケージに入れて、オープニングセレモニーの�iに開��された記�v会見の場で�}に�eって見せた（図2)。
図2 300mmの薄いウェーハを�}にするInfineon 関係�v 真ん中がInfineon Technologies CEOのReinhard Ploss��、��がCOOのJochen Hanebeck��、左がInfineon Technologies Austria社のCEOであるSabine Herlitschka�� 出�Z：Infineon Technologies
オープニングセレモニーでは、テープカットではなく、関係�vがそれぞれスマホを�}に�eち、アプリで開いたスイッチボタンの画�Cをタッチすることで、ビデオでオープンするという映�気�流れてきた。新型コロナを�cける�T味と、ハイテクのセレモニーを印����けるという二つの�T味があった。また今�vInfineonは、「Ready for Mission Future（�_要な使命の��来への���◆法廚箸い��Y語を掲げ、半導��が��来を担うデバイスであることを訴求している。
参考�@料
1. "Infineon opens high-tech chip factory for power electronics on 300-millimeter thin wafers", Infineon Technologies (2021/09/17)
