パナソニック、ルネサス、32nmプロセスのシステムLSIの量に`処と発表
パナソニックとルネサス テクノロジは、次世代システムLSI向けの32nmプロセス共同開発において32nmプロセスでトランジスタ量への`処をつけたと発表した。
パナソニックはこの2社の共同開発を通じて昨Q6月に世c初でシステムLSIへ45nmプロセスを導入とeっており、この32nmプロセスについても、量巤期はらかにしていないが、「k番で}を屬欧燭ぁ廖淵僖淵愁縫奪 セミコンダクター社広報)とT欲をしている。
「社内に先端の要があり、ゴールの形がはっきりしているのが咾漾x場が求めたときには貭召卜ち屬欧蕕譴UがDったということ」と同広報は語っている。
開発した32nm量の要素\術としては、CMOSのk|であるCMIS (Complementary Metal Insulator Semiconductor 相型金鐇箟鑠貳焼) 向けにMetal/High-kゲートスタック構]を~するトランジスタに原子レベルの薄膜キャップ層を最適な条P下で{加したもので、配線にはLow-k材料をいた、とするのみで、\術的詳細はらかにしていない。
キャップ層の導入により、実化レベルのトランジスタの信頼性、およびj模v路を動作できるレベルにトランジスタ間の電気的性のばらつきを抑Uできたことで今vの発表になった模様。
パナソニック(当時松下電_噞)とルネサス(当時は菱電機)は1998Qに共同開発に合T、2001Qに130nm DRAM混載プロセス、2002Qに90nmシステムLSIプロセス、2004Qに90nm DRAM混載プロセス、2005Qに65nmシステムLSIプロセス、2007Qに45nmシステムLSIプロセスをそれぞれ開発完了している。
パナソニックは2007Q6月に業cの先頭を切って45nmプロセスを同社のシステムLSIのUniPhierに適、ビデオデコーダチップの量を開始している。パートナーのルネサスは、しかし、65nmプロセスの量が今Q8月に本格化したばかりで、45nmプロセスは2009Q下期、32nmプロセスについては2011Q頃と、パナソニックとはかなりa度差がある。「電気性のばらつきの抑U、信頼性の確保ができたが、今後300mmラインへのインテグレーションへ向けてまだ開発はく」(ルネサス広報)としている。