図1　MEMS����の�x場予�R　出�Z：Yole Developpement

Yoleの予�Rでは、MEMS����の数は2010�Qの43億個から2016�Qには158億個に�\加する。現在のMEMSをドライブする�x場はやはり�c�旱x場であり、MEMSの���x場の46%を��めると見る。2016�Qにはこの�x場が新しい別の�x場に��き換わっているだろうとYoleは見ている。成長が著しいのがマイクロボロメーター(��小型��(l┬)外線センサー)や発振�_(d│)、マイクロフルイディクスなど、新しい����デバイスであるとする。��小型のマイクロボロメーター分野では、ボロメーターを組み込んだカメラモジュールが�\えてくると見ている。

もっとも金�Yの�j(lu┛)きな�x場は、�c�效�の複合的な慣性センサーであり、金�Yベースで半分��度、数量にして1/3の出荷��模になると見ている。この複合的な慣性センサーとは例えば、10DOF（degree of freedom）センサーなら�O�y(t┓ng)度が10個のパラメータを�eつセンサーであり、直線（X、Y、Z軸）的な加�]度センサー、�v転角度（X、Y、Z�C）を表すジャイロセンサー、磁気センサー（高さを�R定）などを組み合わせて、加�]度や�Q�]度、�_��、向き、�L(zh┌ng)�s高度を表現することができる。スマートフォンを使ったナビやゲーム、����情報サービスなどを提供できるようになる。

Yoleは、現在のMEMSデバイスには、マイクロフォンのような��き換え�x場と、新機�Δ塁x場（マイクロミラーやRF MEMSチューナブルアンテナなど）、慣性センサーのような複合機�Δ塁x場の3つがある、と分析している。��に、3番�`の複合機�Δ塁x場ではビジネスモデルも変わってきている。MEMSファウンドリ、IDM、ファウンドリも扱うIDM、マルチチップの組立ビジネスに加えて、これらをまとめるインテグレーション企業、ソフトウエア企業も出てくると見る。

現在、�岼�30社のほとんどがIDMであり、ファブレスはわずか2社(Knowles社とInvenSense社)しかない。メジャーなIDMで、ファウンドリビジネスを�}�Xけるところが�\えてくると予�Rする。