◆調�h�T果の�要

　マイクロマシン�\術の�W�は情報通信分野、�O動�Z、バイオ、インダストリアル、医�など、�H��Cに広がっている。��にデバイスが小型化された「MEMS」�\術の進歩が著しく、携帯電�Bにはマイクロ加�]度センサ、マイクロ照度センサ、シリコンマイクなどが搭載されはじめ、ナビゲーション、�度調�D、高音��覆匹竜�Ω�屬帽弩イ靴討い襦�泙�O動�Zには圧�センサや加�]度センサなどが搭載され�W�性が向�屬掘��適な運転を可�Δ箸靴討い襦�

　MEMS�x場がマイクロマシン�x場の�Hくを�めているが、�来的にはメカ的マイクロマシンの実�化が進み、双�気陵珊腓�覆鵑嚢圓�８俊Xのメカ的マイクロマシンで�x場が形成されているのはデスクトップファクトリーなどのプラントである。今後は小型のケミカルプラントやマイクロロボット、マイクロモータなども徐々に実�化に向かうとみられる。さらに、プラントがマイクロマシンを���]することも期待される。メカ的マイクロマシンの�x場はまだ小さいものの、今後モノづくりの変化を�任靴討い�海箸漏亮造任△襦�

　MEMS���]���も現�Xでは�J�Tの半導�����]���の流�が可�Δ覆燭畚jきな�x場にはなっていない。MEMSファウンドリーサービスは当初、余剰�攵�ξ�の�~効���という�T味合いが�咾�辰燭��什澆論鐓S的にMEMS���]ノウハウを���する考え�気吠僂錣辰討い襦�８紂�焼��ファウンドリーのように�k定のポジションを確立すると考えられる。現�Xでは�x場が顕在化しているMEMS�x場を中心に構成されているが、�Zい�来マイクロマシンの�x場は、周辺�x場を巻き込んで、デバイスと���のマイクロ化の連鎖によって拡�jしていくと予�Rされる。

◆�R�`�x場

（1）シリコンマイク
国内�x場��模　2006�Q見込　21億�　2010�Q145億�　（�P長率690%）

　小型マイク�x場は現在、ECM（エレクトロ・コンデンサ・マイク）が主流となっているが、携帯電�BやPDA、デジタルカメラなど、モバイル機�_の普及に伴い、マイクの小型化が�k段と進んでいる。ECM代�����としてシリコンマイクが期待されており、携帯電�Bなどのモバイル機�_を中心に採�が進んでいる。シリコンマイクは音圧を感�瑤垢襯札鵐気如�Si薄膜とキャパシタの�電容量変化から音�m信�を読み�Dる。ECMと�jきく異なる点は、はんだリフローにより表�C実�△��Δ覆海箸如▲愁吋奪箸鮖箸�㌫廚�覆な���]コストを低�できる。ただし、ECMは���]工�が確立されているため低コスト化が進んでおり、トータルコストでは現在のところ�{�JECMが割�Wである。

　�x場は2002�Q頃から形成され始め順調に推�，靴討い襦９馥瞻x場ではノウルズ・エレクトロニクス・ジャパンが参入している。�x場拡�jに伴い、今後は国内ECMメーカーも参入してくるとみられる。ワールドワイドでは、Akoustika（�檗法�Sonion（デンマーク）などが参入しているが、実績はまだ少ない。現�X、価格はECMより0.2ドルほど高いが、量�が進み、参入企業が�\えるに�い、低価格化が進むとみられる。携帯電�Bへの採�が本格化したことから、今後出荷量が�\加していくと予�Rされる。

　アプリケーションとしては、携帯電�B向けが90%（数量ベース2006�Q見込）を�めている。機�_の薄型化に伴いマイクの小型化が��に求められている��である。他のアプリケーションとしてはデジタルカメラ、ゲーム機、ICレコーダーなどであるが、小型化のニーズが低く、コスト�Cなどがネックとなり、�k�陲竜○|への採�にとどまっている。今後�~望��される分野は、�Zい�来にパソコンOSに搭載されると見込まれる音�m認識ソフトの音�xサポート�である。また、シリコンマイクは�来のECMと比較して�a度劣化しにくいという��性を�eつことから、�O動�Zへの搭載も充分可��④�△襦�気蕕覆詢名�より、�O動�Z電���メーカーなどへの�W定供給���Uが確立されれば同分野の構成比が高くなっていく。

（2）マイクロ圧�センサ
国内�x場��模　2006�Q見込　375億�　2010�Q520億�　（�P長率139%）

　マイクロ圧�センサは、ピエゾ�B�^型、�電容量型などがあるが、現在はピエゾ�B�^型が�Hい。ピエゾ�B�^型は、応�に伴い拡�g歪ゲージの�B�^率が変化し電気信�を�uる。�O動�Z��中心の�x場で、数量ベースでは93%（2006�Q見込）を�めており、エンジンコントロール、�圧コントロール、カーエアコン�として採�されている。また、タイヤの空気圧検���としてすでに�盜颪鮹羶瓦忘涼�が始まっており、今後は国内での普及も期待される。他のアプリケーションでは、医��やＦＡ関連、�Q�|��R�_などで採�されているものの、�j幅な採�には至っておらず、現�Xは�O動�Z��中心である。デンソー、ボッシュなど�Z載電���メーカーが�O社電���向けに内��するケースが�Hく、この内��化の動きは今後も�咾泙辰胴圓�箸澆蕕譴襦Ｂ召涼��にも研�|開発が進んでいるが当�Cは�O動�Z��がメインとみられる。

◆マイクロマシン関連�x場のアプリケーション

　主な��は携帯電�Bと�O動�Zである。この分野は高��嘆礎猷修���]に進んでおり、アプリケーション�O��の進化も著しい。�来的には携帯電�Bはウェアラブル化や、リモート�U御のコア的なツールへの進化、�O動�Zは�O動運転システムへと進化するなど、さまざまな可��④魴eっている。

　携帯電�Bは、すでにマルチバンド化、TV、音楽プレーヤーとしてのメディア�W�、省電�／長時間�W�、高音��▲淵咼押璽轡腑鶺�Δ覆鼻⇒諭垢�妓��蕕粒���覆瓩蕕譴討い襦�８紊發△蕕罎覽�Δ魴eち合わせた����となっていく。そのため、常に新しい発�[が�Dり入れられ、それを現実化していくためにマイクロマシン�\術は無くてはならないものとなっており、今後も携帯電�Bの進化を�Г┐討い�\術である。現在のところフラッグシップ機、ハイエンド機への採�となっているが、GPS機�Δ虜Y��搭載などの動きもあり、今後3軸地磁気センサなどはミドルレンジ向けへの採�も�\えていくとみられる。また、ナビゲーション機�Δ任�6軸モーションセンサなどの3軸加�]度センサと3軸地磁気センサのハイブリッドタイプも開発されており、高�@度の電子コンパスとしてハイエンド機を中心に搭載されていく�妓�砲△襦�

　�O動�Z向けとしては、マイクロ加�]度センサ、マイクロ圧�センサ、マイクロジャイロの採�が�\えている。あくまでも�Z両運転における�W�を�`的とした�W�がメインとなっているが、最�Zではカーナビなどの電子機�_に組み込まれるケースも�\えてきている。�W�・�W心に加え、�適といった�菘世�蕕虜涼�も�\えていくとみられる。高級�Zなどのハイエンド向け�Z�|へ�Hく採�されており、�O動�Zメーカーとしても�W�・�適を�i�Cに出し、差別化を図っている。最�Zではミドルレンジの�Z�|などへの採�もでてきており、また、バイクへの応�もでてきている。�k�陲�750ｃｃクラスの�j型�Z�|で横転時のエンジン�U御�などにマイクロ加�]度センサやマイクロジャイロが採�されている。

　他のアプリケーションで今後期待されるのは、AV機�_、OA機�_、白�餡氾電銈離▲廛螢院璽轡腑鵑任△襦８什澆虜涼�率は低いものの、アプリケーションの�要量から見てもポテンシャルが高い。アプリケーションの��徴としては2つに�j別される。�kつはMEMS機�Δ����のキーテクノロジーとなって�i�Cに出てくるもので、ゲーム機などがこれにあたり、任�W堂「Wii」のようにマイクロ加�]度センサなどの機�Δ鮠W�しバーチャルリアリティを実現している。もう�kつは����の高��嘆礎猷修帽弩イ垢襪��Cには出てこない採��桔，任△襦Ｇ�餡氾鼎凌絨霧�堯�O動�Zの空気圧検�堯▲妊献織襯�瓮蕁▲妊献織襯咼妊��瓮蕕両}ブレ��などの機�Δ任△襦�泪ぅ�蹈泪轡鶺�Δ鱠��C的にあるいは裏�掬�望W�するなどでアプリケーションの可��④禄jきく広がり、�来的には、アプリケーション単��としての高��嘆礎猷修�覆爐箸箸發法▲曄璽爛�璽肇瓠璽轡腑鵑覆匹離優奪肇錙璽�範�阿垢襪覆匹靴撞�Δ靴討い��

　在�甍綢�機�_や携帯型オーディオは、すでにマイクロマシンの採�率は高いが、ネットワーク化などでアプリケーションの可��④�④�蝓▲泪ぅ�蹈泪轡鵑虜涼�が拡�jしていく可��④鬚發辰討い襦�

◆調�h���

　本報告書では、マイクロマシンを『小さなデバイスから小さな���』という広�Iで捉えている。現�Xでは、小さなデバイス（=MEMS）の�x場が先行し、ナノテクノロジーへと進化を�~げ、�x場が形成されているが、小さな���（=狭�Iのマイクロマシン）はまだ模索の段階である。小さなデバイスを���]する���（=MEMS�攵摚�◆砲蓮▲廛蹈札更��のため小型化はあまり求められていないのが実情である。

フルレポートはhttps://www.fuji-keizai.co.jp/report/index.html?keyword=140607814にて�P入可�Α�