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裏C研磨で削りDったシリコンをリサイクルできる\術をディスコが開発

来週の12月7日からセミコンジャパンが例Q通り幕張メッセで開される。今Qは12月5日から7日までPVジャパンも設される。このt会を狙って新の発表が出始めている。先週、jきなインパクトのあるの発表がディスコからあった。シリコンのリサイクルを可Δ砲垢覿\術である。クアルコムは無線充電\術もライセンスビジネス推進。

シリコンウェーハからチップに切り出すiに厚さが0.7〜0.8mmもある300mmウェーハを0.1〜0.2mmまで削ることがHい。ダイシングソーでカットする時の時間を]縮するためである。加えて、シリコンチップを薄くすればXB^が下がり、放Xが良くなる。3次元実△把_ねる時は100μmよりも薄く削る。シリコンをウェーハとして扱う場合は厚い気扱いやすいが、チップに切り出して実△靴道箸場合は薄い気メリットはHい。

しかし、シリコンウェーハの8割、スタックする場合は9割以屬盧錣蠧Dってしまう。わずか1〜2割の厚さしか残さない。つまり、シリコンの8〜9割を捨てているのである。何とももったいないBである。シリコンを再擇靴道箸┐覆い發里。今v、後工の専門家集団ディスコがウェーハ裏C研磨工でグラインダによって発擇靴診竸紊らシリコンスラッジ(水に混じったシリコンg)を分`・v収する\術を開発した。このニュースを日刊工業新聞社が11月22日に報じた。純度99%以屐含水率50%以下でシリコンスラッジをO動的にv収するというである。

純度が99.9999%(9が六つあるのでシックスナインと}ばれている)以屬要求される半導]では今のところ使えないが、陵枦澱咼哀譟璽匹任科使えるレベルである。陵枦澱咾禄稘戮茲蠅發箸砲くWさがk番だからだ。陵枦澱咾里燭瓩縫哀譟璽匹猟磴ぅ轡螢灰鵑攵することは普通しない。このため陵枦澱喘のシリコンが薄になったことがかつてあったが、シリコンのj半がv収できるとあれば陵枦澱咼哀譟璽匹離轡螢灰鵑呂い弔任眈}に入れることができるようになり、シリコン陵枦澱咾猟祺然焚修鮨篆覆垢襪茲Δ砲覆襦これまでは単T晶シリコンインゴットの先端とテールの霾を陵枦澱咾箸靴道箸ぁ⊃燭鹵罎鯣焼グレードとして使っていた。

陵枦澱嘶x場では来Q7月から量ADU度が始まる。陵枦澱咾波電した電をすべてAいDるという新しい仕組みである。このため、陵杆発電システムへの参入がPVジャパンの開と共に`立ってきた。陵杆パネル攵で世cトップの中国サンテックパワーにき、2位の中国JAソーラーが丸紅と組み住畍けシステムの販売を開始すると23日の日本経済新聞が報じている。それによるとパワーコンディショナーのj}ドイツのSMAソーラーテクノロジーも来春をメドに参入する。国内の陵杆発電x場は狙い`となっている。国内噞機_のj}、W川電機も住畍けパワコンに参入、さらにウエストホールディングスが湾メーカーのOEM供給によりパワコンを販売するという。陵枦澱咾里つての世cトップにいたドイツのQセルズ社は、セル]して}Xけていなかったが、このほど勢を立て直し、パネルの販売も始めた。やはり狙いは日本x場である。24日の日経噞新聞は、カネカがQセルズにパネルのX割れを防ぐ工法に関するライセンスを供与するというニュースを掲載している。

陵枦澱咾@iだけは、電池だが電気をQめるξはない。光が当たっている時だけ電流が流れるフォトダイオードである。このため陵杆発電をスタンドアローンで作ろうとすれば電気(電荷)をQめる電池がLかせない。電気O動Z(EV)に使う電池を代するだけではなく、積極的に家庭の電源として使うためのシステム開発のмqに国土交通省が乗り出すというニュースを25日の日経が伝えた。家庭の電使量を見える化するHEMS(ホームエネルギーマネジメントシステム)にもクルマからの電を使いEVの充電情報も見ることができる。

最後にEV関係で少し気になる動きについて触れておく。ファブレス半導トップに\臨するクアルコムがEV向けの無線充電システムを開発、その\術を使った走行実xを英国ロンドンで始める。実xが成功すれば、クアルコムはこの\術をWした無線充電を]するのではなく、ライセンス供与するという。クアルコムはかつて携帯電B業をeっていたがBセラに売った。モノづくりはくせず、\術をライセンス供与するというビジネスモデルに転換した後、uTな無線\術を擇した新しい分野(無線充電)でも同じビジネスモデルに徹することになる。ファブレスとはいえ、O社では実xによって動作は確認しているようだ。出3kW、7kW、18kWの無線充電出が可Δ世箸靴討い襦E甜誘導(トランスの原理とく同じ)か、電磁共鳴かはらかにしていない。直線的にコイルをH数配し、‘庵罎任睫祇で充電できる実xによる確認も行っているという。

(2011/11/28)
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