図1　アナログ・デバイセズ社リージョナルマーケティング&チャンネルグループ、マーケティングマネージャーの高松創��(hu━)

スマートフォンに使われている加�]度センサは最�j(lu┛)でも数gしか�Rれないため橋�悗箙�場の振動には使えない。工業��ではもっと�j(lu┛)きなgを�Rる��要がある。工業��では、��来は圧電性を�eつピエゾ素子が使われていたが、その����が3cm×3cmのボックスタイプと�j(lu┛)きく、しかも価格は10万��以�屬發垢襪�ADIの日本法人、アナログ・デバイセズ社リージョナルマーケティング&チャンネルグループ、マーケティングマネージャーの高松創��(hu━)は言う(図1)。�}頃な価格になるように設��しなければ、IoTのようにセンサを�H数設��しなければならない����には使えない。

新開発のMEMSセンサは、シリコンMEMS�\術を使ってくし形のカンチレバーを1組インターデジット構�]（2本の��が互いに向き合う構�]）に作り、��電容量を�R定する��(sh┫)式である。最�j(lu┛)の加�]度が�j(lu┛)きいだけではなく、MEMS信��(gu┤)に乗るノイズも圧倒的に少なく、�a(b┳)度による��らぎも小さい。加�]度センサとしてスマホ��もIIoT��もMEMSセンサ�\術で作��するが、求められるセンサ性�Δ僚j(lu┛)きな違いから��確に工業��としている。

この2シリーズをリリースしたことで、2016�Q10月に発売した最�j(lu┛)±2g /4g/8gの3軸加�]度センサ����ADXL356/357と共に、工業��にも耐えられるMEMS加�]度センサを�k般�x場向けに����ポートフォリオを�Dえていく。

この��電容量��(sh┫)式のMEMS加�]度センサは、CSP（チップスケールパッケージ）に収め、5mm×5mmや6mm×6mmと数�科�の�kと小さい。しかも価格は1000個�P(gu─n)入時に30ドル��度と�Wい。このためADIはこれからのIIoT��のセンサとして使えるとみている。

実はADIは、これまでも昨�Q冬のSEMICON Japanでデモしたように（参考�@料1）、IIoT向けの加�]度センサの仕様を模索していた。IoTを実��化する場合、どの��度のスペックが��要なのか抑えておかなければならないが、これはユーザも��(m┬ng)らないため、MEMSメーカー�笋肇罅璽��笋納尊櫃縫如璽燭鯑Dり相互に確認していく��要がある。しかも、�R定時の�a(b┳)度や周囲の�X況などにも�j(lu┛)きく影�xされるため、センサに含まれる�j(lu┛)量のビッグデータが��要となる。このため、データ解析�\術も��要となる。それもユーザごとに違うため、データ解析のプラットフォームをクラウドベースで�eつことが望ましい。だからADIは、データ解析プラットフォーム企業のPTC ThingWorxと提携した。

これまでのADIとPTCとの共同作業で�u(p┴ng)られた�T果から、ADIは��要最小限のスペックを�eつことができた。それが今�v、発売する二つのシリーズであるといえる。

IIoTの最�j(lu┛)の応��は予防メンテナンスである。例えば工場で、モーターの�v転を�W(w┌ng)��してポンプやファンを設��する場合、中間にギアボックスも��要になる。モーターの振動、ギアボックス、そしてポンプやファン、といった工場内の動��システムにIoTセンサを設��することで、�Q�隶未凌尭哀僖拭璽鵝淵廛蹈侫．ぅ襦砲�24時間365日連��モニターできるようになる。しかし、センサ信��(gu┤)のどのようなパターンが劣化の初期に相当するのかは、実際に運転し確認してみなくては求められない。このためにもセンサメーカーはユーザと密��して、振動の振幅や周�S数などのデータを�Dり、そのしきい値を求めてみる��要がある。Intelが今後、データカンパニーになる、と表��しているのは、データがこれからのIoTのカギを�曚襪海箸���(m┬ng)っているからだ。

今�v、ADIが新����としてリリースする����は2シリーズある。�kつは、1軸のアナログ出��だが、加�]度の�J(r┬n)囲が最�j(lu┛)±100g、ノイズが25µg/√Hz、共振周�S数が21kHzと広い����がADXL1001/1002（図2）。もう�kつは3軸のアナログ/デジタル出��で最�j(lu┛)±40g、ノイズレベルが80µg/√Hz、共振周�S数が5.5kHzの����ADXL356/357である(図3)。2シリーズとも�W定化電源LDOを集積している。

図2　加�]度が最�j(lu┛)±100gのADXL1001　出�Z：Analog Devices

ADXL1001は最�j(lu┛)±100gで、ノイズは30µg/√Hz、ADXL1002は最�j(lu┛)±50gで、ノイズが25µg/√Hzで、その他の��性は二つとも同じである。リニアな周�S数応答がDC〜11kHz、共振周�S数21kHz、電源電圧5V、消�J電流は1mA、�a(b┳)度依�T性は5%以内、リニアリティは±0.1%、パッケージは5mm×5mm×1.8mmのLFCSP（リードフレームCSP）となっている。

図3　最�j(lu┛)40gの3軸加�]度センサA(ch┳)DXL356/357　出�Z：Analog Devices

3軸の加�]度センサは、ADXL356がアナログ出��、ADXL357がデジタル出��である。�R定モードにおける消�J電流はアナログ出��のADXL356が150µA、デジタル出��のADXL357は200µA、スタンバイ電流が共に21µAである。デジタル出��の357はSPIおよびI2Cという�Y��インターフェース出��を?y┐n)△┐討い襦Ｆ��鼎�AD-コンバータの分解�Δ�20ビットと高�@度。共に6mm×5.6�弌�2.05mmのセラミックLCCパッケージで提供される。

参考�@料
1. Analog Devices、IoTビジネスで早くも顧客�耀u(p┴ng) (2017/01/11)