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英国集2010・ケンブリッジj(lu┛)学、実化に向けたj(lu┛)C積デバイスを研|中

英国ケンブリッジj(lu┛)学には、駘学で高@なキャベンディッシュ研|所がある。その駘学の研|所と電気工学科が協して、j(lu┛)C積エレクトロニクスの開発を行っている。プラスチックエレクトロニクスはそのテーマのkつだ。研|の主となる組EがCIKC(Cambridge Integrated Knowledge Centre)である。

英ケンブリッジj(lu┛)学CIKC

英ケンブリッジj(lu┛)学CIKC


英国Bには、j(lu┛)学の研|や\術分野をビジネスにつなげるための組Eがある。駘学と\術工学分野において、EPSRC(Engineering & Physical Sciences Research Council)と}ばれる組Eが英国のj(lu┛)学の研|に@金を提供する。ただし、ビジネスにつなげるための研|に限られており、j(lu┛)学の研|が社会経済動に直Tするようにとの配慮からきている。CIKCが担う研|開発レベルは、NASAが定めた、以下のTRL(化までに△垢戮\術レベル:Technology Readiness Level)でいえば、レベル3とレベル5の間、すなわち科学の検証から試作のデモまでをケンブリッジj(lu┛)学CIKCが担当する。


TRL(化までに△垢戮\術レベル)

TRL(化までに△垢戮\術レベル)


EPSRCはj(lu┛)学に瓦靴董⊆唾化するための@金を、5Q間の期限きプロジェクトとして提供する。提供をpけるCIKCは、噞cとj(lu┛)学双(sh┫)からの専門家や研|v、邵濺な顧客、使するスペース、業するための環境などを統合してまとめる。CIKCは\術ロードマップや見通しを定Iし、\術プラットフォームを提供し、\術的に可Δ任△襪海箸鮗他擇垢襦さらにビジネスをサポートする。「CIKCではEPSRCの@金をすでに3Qに渡ってpけており、残り2Qとなっている」とCIKCディレクタのChris Riderは述べる。


英ケンブリッジj(lu┛)学CIKCのディレクタ、Chris Rider

英ケンブリッジj(lu┛)学CIKCのディレクタ、Chris Rider


CIKCの\術テーマは、低a(b┳)プロセスで作るj(lu┛)C積のエレクトロニクスとフォトニクス、そしてLCOSのような来基屬吠未虜猯舛筌妊丱ぅ垢魴狙する新プロセス\術である。的には陵枦澱咫▲妊スプレイ、照、スマートパッケージング(包∪Lにセンサーを搭載し包むべき(j┫)颪両霾鵑鯑匹燹法▲好沺璽肇Εンドウ(ガラスX表Cに電子v路を形成し情報をmめ込む)、RFID、センサーシステム、光配線などがある。これらは印刷\術すなわちプリンティング\術で形成する。もうkつのLCOS(Liquid crystal on silicon)\術では、シリコン屬坊狙した]晶にホログラムを作し、位相変調をかけて]晶すなわち偏光素子に画気鳬mめ込んでおく。k見すると]晶画C屬魯離ぅ困里茲Δ砲覆辰討り画気聾えない。この]晶に光を当て、位相変調かけて復調することで画気鮑遒襪箸いΕ妊スプレイデバイスだ。詳しくは以下のを参照。

的なプロジェクトは、CIKCだけではなく、さまざまなパートナーズと、@金問も含め組んでいる。フレキシブル基屬忘遒襯廛薀好船奪陵枦澱咾粒発や、~機TFTトランジスタ、透な基屬忘遒詁導や無機TFTトランジスタ、W定でWいポリマーをW(w┌ng)した光配線などのテーマを進めており、すでにフェーズ2を圓たところだという。


フェーズ2のテーマ

フェーズ2のテーマ


印刷\術を主に作る場合でも0.1μmを切るような微細なゲート長を実現する、セルフアラインメント(sh┫)式のソース、ドレイン形成\術をすでに開発している。これは金のナノパーティクル(微子)を含むインクでドレインを形成した後に|燥させ、wれ性の高い材料でその屬戮Αそして同様のインクをドレイン覦茲膨_なるように譴蕕靴謄宗璽覦茲魴狙し、|燥した後にやはりwれ性の高い材料で戮Δ函▲宗璽-ドレイン間隔が50〜400nmと微細なFETが出来屬る。チャンネル長200-400nmのFETを試作した例では寄斃椴未0.3〜0.6pF/mmと小さくなったため、5V動作で最j(lu┛)動作周S数は1MHz以屐△箸い実xT果だった。


Performance enhancement by downscaling


また、HiPZOTプロジェクトでは、ZnOトランジスタ(n型)を基a(b┳)度50℃以下のRFマグネトロンスパッタリングで形成し、10cm2/Vsとプラスチックベースのトランジスタよりも1ケタ高い電子‘暗戮鰓uている。

CIKCは、フェーズ3でのプロジェクトに参加し、コラボレーションする相}を探している。

(2010/05/17)

ごT見・ご感[
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