図1　IMTのビジネス開発担当VPのCraig Trautman��

エレクトロニクスから��小型医���_�困泙�
2000�Qに設立された��IMT（Innovative Micro Technology）社は、「7�Q間�W益を出し��けている」（同社ビジネス開発担当VPのCraig Trautman��：図1）が、未�崗豐覿箸任△襪燭畉���内容は�o開していない。ファウンドリという���]に徹することで、MEMSのエレクトロニクス����だけではなく、TSV加工、3Dパッケージ、Siインターポーザ、ウェーハレベルパッケージング（WLP）、医����のマイクロシャーレーやマイクロ流路、糖尿���E��のためのマイクロポンプ、バイオセンサーやバイオテクノロジーなど、広い�J囲の応��まで�}�Xけている。

これらを総称してMEMSという言��で表しているが、��争の��しい�O動�Z�x場やゲーム�x場には参入していない。これまで量�庀績のあるMEMS����としては、6200万個以�崕于戮靴討�たRFスイッチCenFireがある。また、気密封�VのWLPにおいても���zガスを封�Vしたり、高真空で封�Vしたりしてきた実績がある。同社は試作と量��のファウンドリである。

扱う材料はシリコンだけではない。水晶やガラス、金�錙▲櫂螢沺爾覆鰭�広い。例えば、水晶�T晶に深い穴を形成した例では、1チップ�屬坊狙�した100万個の穴の�@度は�Y��偏差1σで22nmと均�kにできている。複雑な試作例では、4~5��のウェーハを張り合わせる、ボード�屬妨�の反�o��と屈折��を形成、3次元のマイクロ流路、磁気で動くアクチュエータ、アトグラム（10の-18乗グラム）という微量の��量��、ストローク幅が22μmの�{�`を最�j1万2000g（�_��加�]度）の加�]で動くアクチュエータなど、���zなデバイスを��作している。

同社が��を入れている分野は、光通信、宇宙�豢�、医��エレクトロニクス、工業プロセス�U御の分野で、これらにMEMSの高い価値があると見ている。それでいて、�W益をしっかり確保するため、再�W��できるMEMSプラットフォームIPを構築している（図2）。

図2　再�W��できるプラットフォームを構築

3次元ICのTSVにおいては、直径15μm×深さ60μm��度の加工は量��レベルにあり、直径50μm×深さ250μmは量�凮始レベル、直径50μm×深さ500μmは試作デモのレベルにあるという。6インチウェーハで15万個のビアを形成する試作プログラムでは歩�里泙�99.96%を�uている。

20�QのMEMS実績を誇るVTI
�k�気�VTI Technologies社はMEMSの設��から���]まで�}�XけるIDM（�貭湘�合デバイスメーカー）で、��欧フィンランドに本社を��く。これまで20�Q間MEMSデバイスを出荷してきたが、かつてのASIC企業のVTI (VLSI Technology Inc) とは��く関係がないという。

1990�Q代は、容量あるいはピエゾ�B�^を�W��する圧��センサーやウェーハレベルパッケージング（WLP）、誘電分�`型の楉姪填砲覆匹����]し、3次元のウェットエッチングを�W��してきたが、最�Zでは、SOIキャビティ構�]を�W��して性�Δ��屬押▲船奪廛好院璽襯僖奪院璽献鵐阿箸靴討�WLPに代わった。3軸のジャイロセンサーや共振�_も作��している。主������は�O動�Z��のセンサーで加�]度��、ジャイロスコープ、���Aセンサーに加え、小型の共振�_や�mめ込み型の医��圧��センサーを設�����]している。

�O動�Z��では、今後、電子�W定化�U御（electronic stability control）����が使われると見ており、この����を�⊂�すると交通��故で亡くなる人は欧�Δ�4000人以�屐��盜颪�8500人以�屬鴈�えると見積もっている。世�c�Q地の�O動�Zへの�⊂��I��があり、今�Qから来�QにかけてはEUやオーストラリアで、2012�Qには日本と�f国でも新�Zへの�⊂�が�I����けられるようになる。その後、��てのクルマに�⊂�が�I����けられるようになり、�x場は�jきく拡がっていく。

こういった電子�W定化�U御には加�]度センサーだけではなく、角度や角�]度センサー（ジャイロスコープやヨーレートセンサー）も��要となる。加えて、センサーから見た�O動�Z�x場としては、��来のアンチロックブレーキング（ABS）やサスペンション�U御、�W定化�U御だけではなく、電動パーキングブレーキや�Z�O発進�мq、クルマの��き�U御、�Z内での心拍検�瑤覆氷�いと同社���歟甘�VP&GMのScott Smyser��(図3)はいう。

図3　VTI���歟甘�VP&GMのScott Smyser��

�c�旱x場もこれから�啣修垢襪箸いΑ�これまでは「�c�擇賄�社にとって新�x場」（Scott Smyser��）。�c�擇任魯献礇ぅ蹈好魁璽廚離癲璽轡腑鷂―个鮠W��したジェスチャー動作と�官�させる����がブームになっているとしている。このため、加�]度センサーとジャイロスコープ、タイミングデバイスに��を入れる。このほど量�凮始したジャイロスコープCMR3000シリーズは、動作時の消�J電流が5mAと小さく、角�]度は最�j2000dps（degree per second）まで�R定できる。�∨，蓮�3.1×4.1×0.83mmと小さい（図4）。

図4　VTIのCMR3000

同社は�O動�Z��と医��MEMSは�O社設�����]だが、数量が圧倒的に�Hい�c�效�のセンサーとなると、アジアなど外�陲離侫．Ε鵐疋蠅鮠W��するファブライト戦�Sを採る。

参考�@料
MEMS��集：半導��の総合��を�擇�したソリューションを提供、フリースケール (2011/05/13)
MEMS��集：デジタルマイクICに徹するAkustica、水晶��き換え狙うSiTime (2011/05/19)