6月11日から�B都で開��されるVLSI Symposiumのプログラムが��まった。投�M�b文数はこの10�Q間で最�Hの359�P、採�I数は123�P、採�I率は34%となった。2017�Qから�v路とプロセスが�k��化したVLSI Sympoだが、2023�Qの����テーマは「�e��可�Δ別ね茲里燭�、VLSIデバイス�\術と�v路�\術を再始動」である。FinFETの次となるGAAやCFET、など新トランジスタ�\術や裏�C電源�\術などの実���\術が�B��になりそうだ。 [→��きを読む]
2023�Q��1四半期（1Q）の見通しが�i�Q同期比でマイナスになる見込みを半導���Q社が発表した中で、オランダのリソグラフィメーカーASMLが�i�Q同期比90.9%�\という驚異的な成長率を��し、67億4600万ユーロの売�幢Yを達成した。���W(w┌ng)益50.6%、営業�W(w┌ng)益32.7%と絶好調である。ASMLの好調は今後も��くのだろうか。 [→��きを読む]
プロセスノード2nm以�Tの次世代半導��チップ���]に�Lかせない、���Q機リソグラフ��（Computational Lithography）のエコシステムをTSMCとNvidia、ASML、Synopsysが設立した。3nmノードの実チップ�屬任虜脳��∨，�13nm��までやってきて、�S長13.5nmのEUVリソでもOPC（光�Z接効果����）の導入が�Lかせなくなってきた。���Q機リソはそのための�\術である。 [→��きを読む]
半導��工場の脱炭素化が求められるようになってきたが、ベルギーの研�|開発会社であるimecは、リソグラフィとエッチング工��における環境負荷を定量的に�h価するシミュレーションを発表した。半導��プロセスの環境�h価によりCO2削��への�敢�を�]つことができる。まずはリソとエッチング工��でEUVの優位性が��された。 [→��きを読む]
�歟耻��陲砲△�12の�j(lu┛)学・研�|所がネットワークを組み、半導��人材を育成するという��画を発表した。Intelがオハイオ�Δ�200億��を投�@してメガファブを作る��画は1月に発表（参考�@料1）、7月には�盜颪離侫．Ε鵐疋�SkyWaterがインディアナ�Δ離僖妊紂悉j(lu┛)学構内に半導��工場を作ることを��めた（参考�@料2)。�歟耻��陲�半導��で�rり�屬�っている。 [→��きを読む]
![�櫂侫．Ε鵐疋�3社が半導�����]サービスの�p�R�耀u��発に](/assets_c/900px/220809-usfoundries.png "�櫂侫．Ε鵐疋�3社が半導�����]サービスの�p�R�耀u��発に")
半導�����]が弱��化していた�盜颪妊侫．Ε鵐疋螢咼献優垢��i向きに動き出した。Intelのファウンドリ�靆腓���湾MediTekにファウンドリサービスを提供することで合�Tした。�櫂潺優愁��Δ�SkyWater Technologyがインディアナ��、Purdue（パデュー）�j(lu┛)学と共同で半導�����]工場を建設する。GlobalFoundriesはSTMicroelectronicsと共同でFD-SOI新工場をクロルに設立することで合�Tした。 [→��きを読む]
IBM Researchは、東�Bエレクトロンとパートナーシップを�Tび、�櫂縫紂璽茵璽��Δ離▲襯丱法爾砲�いて共同で300mmウェーハ同士を接��するための3D-ICスタック�\術を開発したとブログで��らかにした。3D-ICは、TSV（through silicon via）�\術で2��以�屬離ΕА璽脇瓜里鮴橙�して3次元的に集積する�\術。薄いウェーハを容易に�Dり扱えるようにした。 [→��きを読む]
今�QのVLSI Symposiumはこれまでのテクノロジーと�v路を分けずに1本化することが��まった。半導��チップの微細化や複雑さから、プロセスと�v路�\術を分�`することが�Mしくなり、新しい�\術への�官�が��要になってきたためだ。しかも昨�Q�k昨�Qのオンラインから、リアルとのハイブリッドで開��される。 [→��きを読む]
200mmシリコンウェーハを使う半導��プロセス工場の�攵��ξ�が、2024�Qには2020�Q比で21%�\となる月��690万��と�Pびていきそうだ。このような見通しを発表したのはSEMIであり、その「200mmFab Outlook Report」で�o表した。 [→��きを読む]
2021�Q12月11日（土）のチュートリアルから始まるIEEE主��IEDM（International Electron Device Meeting）の講演��要が�wまった。基調講演は12月13日（月）午�i中の3�Pで、�QSamsung、Facebook、IBMから発表される。開��はいつものサンフランシスコのヒルトンホテルだが、オンラインとのハイブリッドである。 [→��きを読む]
