図1　ASMLの新����NXE:3350B機　出�Z：ASML

ASMLが納入するEUVは、これからのプロセスノードにおいて、�H数のプロセス工��でEUVリソグラフィを使うことを�T図している。�盜颪亮舁弩楜��@についてASMLは��らかにしていないが、Intelに間違いない。というのは、Intelは2012�QにASMLに15%出�@することを発表しており、EUVプロジェクトや450mmプロジェクトなどを通じて、ASMLとの関係が深いからだ(参考�@料1)。Intel以外の�盜馮焼���企業で出�@しているところはない。現在もその顧客にEUV����が複数��導入されているが、新����NXE:3350Bが2��2015�Q��までに納入される予定である。

2015�Q��2四半期には1��のEUV����が売り�屬欧房��屬気譴觚�通しであるが、その����は�J�TのNXE:3300B機であろう。

今�QのEUV����の�`�Yは1日当たり1000��の処理量であり、その詳細は次の通り；
(1) ある顧客の工場で24時間に露光されたウェーハ��数が1022��(光源は80W)という実績
(2) 複数の顧客の工場で80Wの光源にアップグレード
(3) ASMLの工場で最�j110W光源をデモする

可��性(アベイラビリティ)、実��的には�n働率といってよいが、その�`�Yは70%；
(1) 現�Xは複数の顧客の工場で�uられているのは�J�TのNXE:3300B機で55%

新����NXE:3350Bの出荷�`�Yは6��；
(1) ASMLで進められている複数のNXE:3350B機の機械的な統合
(2) 量����に2���p�R
(3) 複数の顧客で進んでいる�p�R交渉

NXE:3350B機の機械的な統合が今�Q完了し、中ごろに新型の�~動��ハイパワーレーザを�△─▲廛蹈札甲罎離灰譽�タクリーニング機�Δ鯏觝椶垢襦�このハイパワーレーザは、スズ(Sn)のドロプレットに照�oするための�~動����。

今�Qの出荷見込みは、NXE:3300B1��に加え、NXE:3300BからNXE:3350Bへのアップグレードが期待されるのが1〜3��、NXE:3350Bの納入が6��、を��画している。ただし、今�Q中に売り�屬下��屬気譴襪�どうかは不��としている。また、光源のアップグレードは複数の顧客の工場で始まっているという。

ちなみに、EUV����が納入された実績の数�Cから見積もった単価は、84億��になる(1ユーロ＝129��)。これは、2014�Q��4四半期での売り�屬�10億8500万ユーロの6%がEUVの売り�屬欧任△蝓�売り�屬下��屬靴髄�数は1��というレポートに基づいている。

参考�@料
1. ASML、EUV開発のリスク分�gを狙いインテルらと共同開発プログラムを提案 (2012/07/11)